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LST-208型白光共焦法平面度測試儀

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2024-11-19
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)北京市
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量9
  • 人氣值43
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北京三禾泰達技術(shù)有限公司成立于2003年1月21日2018~2020年間共取得11項產(chǎn)品軟件著作權(quán)2018年激光干涉測平儀項目獲得北京市朝陽區(qū)頒發(fā)的研發(fā)能力提升獎勵2020年被認定為企業(yè)。2021年被認定為中關(guān)村企業(yè)2021年2月有10項實用新型申請被國家局受理。十幾年來公司通過在測量領(lǐng)域的深耕和拓展,為市場提供了數(shù)款性價比的測量儀器,其中7種儀器。公司產(chǎn)品主要面向五個大的市場方向: 半導體WAFER平面度/厚度檢測、光學玻璃幾何參數(shù)特征檢測、利用近紅外光進行砷化鎵/硅晶體缺陷檢測、壓電水晶諧振器電學參數(shù)檢測以及激光傳感器應(yīng)用研究,我們的產(chǎn)品包括:LINT-208G型WAFER平坦度半自動測試儀,該儀器目前;LINT-208G型WAFER平坦度/厚度全自動測試系統(tǒng),該儀器目前;LST-208H型共聚焦法平面度測試儀,該系統(tǒng)處于國內(nèi)水平;ALC-2120型在線自動研磨頻率控制儀,該儀器當年;ALC-SI型硅在線自動研磨厚度控制儀,該儀器當年;TCS-A型電渦流在線研磨厚度控制儀,該儀器目前;ABS-2000型壓電水晶BLANK頻率分選機TMI-A型激光厚度測量儀,該儀器目前;WMS-208AT型WAFER 激光全自動厚度分選機,該儀器市場反應(yīng)良好;我們的宗旨是通過向世界提供高技術(shù)高精度的測量儀器和高水平的服務(wù)提升中國在檢測及激光傳感器領(lǐng)域的總體水平。我們的目標是在激光測量領(lǐng)域做到世界。
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LST-208型白光共焦法平面度測試儀測量原理本機采用白光共聚焦傳感器掃描法進行表面形貌測量,經(jīng)過測量可以得到Wafer的表面幾何尺寸特征信息
LST-208型白光共焦法平面度測試儀 產(chǎn)品詳情
LST-208型白光共焦法平面度測試儀
LST-208型白光共焦法平面度測試儀

測量原理

本機采用白光共聚焦傳感器掃描法進行表面形貌測量,經(jīng)過測量可以得到 Wafer 的表面幾何尺寸特征信息。

功能設(shè)計

本機主要用于測量碳化硅、藍寶石、玻璃、砷化鎵、磷化銦、硅、鍺、金屬、陶瓷等平板材料的微觀形貌特征。我們使用 Semicon 定義來表述 wafer 形貌,如:THK(厚度、TTV(厚度變化、TIRWARP翹曲度、SORIBOW(彎曲度)等。

性能參數(shù)指標

分辨率(Resolution 0.05μm

傳感器重復性(Repeatability 0.20μm

測量精度(Accuracy ±0.5μm(雙拋片)

測量點數(shù)(Data Points 1 /50μm

厚度精度(Thickness: ±0.5μm(雙拋片)

半自動型速度(Speed: 35s/片(米字型)

3、環(huán)境要求

儀器外擴/重量:L920*W800*H1370(MM)/450Kg 電腦/顯示器工作臺:L700*W700*H750(MM)

電源:AC220V/50HZ/1KW帶地線/空間無強磁干擾) 潔凈度:千級或百級(環(huán)境內(nèi)無酸堿氣體)

地面:隔振地面

/濕度:23℃±2℃/≤70%;無水氣凝結(jié)

關(guān)鍵詞:傳感器 顯示器
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