產(chǎn)品特點
PRODUCT FEATURES
潔凈烘箱廣泛用于半導(dǎo)體晶圓、液晶、光學(xué)模組、攝像頭模組和其他對烘烤要求較高的零件以及設(shè)備的熱處理/干燥或老化,也適用于安裝在潔凈室環(huán)境中。100級的潔凈度主要通過使用初效過濾器,HEPA高效過濾器和前后層流循環(huán)系統(tǒng)來實現(xiàn)的,在加熱或冷卻過程中提供穩(wěn)定的性能??焖偕郎睾突謴?fù)時間確保出色的溫度控制和均勻性。具有的機械對流氣流系統(tǒng)。風(fēng)扇將底部烤箱產(chǎn)生的熱量帶走,防止損壞頂部單元。
潔凈烘箱采用PT100鉑傳感器測量實際的腔室溫度, 0.3µmHEPA高效過濾器,對空氣進行有效循環(huán)過濾??鞠溥€具備流量計和NPT配件,將惰性氣體如氮氣等引入腔室內(nèi)進行特殊工藝烘烤,可以保持低至200PPM含氧水平。
潔凈烘箱外材質(zhì)為SPCC鋼板經(jīng)過蘇打水清洗后粉體烤漆處理;內(nèi)部是耐腐蝕的不銹鋼。配備四個可調(diào)節(jié)的穿孔不銹鋼托架,支架和機身易于拆卸,便于清洗。
安全功能包括獨立超溫保護,相序保護,斷電保護等多重保護機制,確保使用安全。設(shè)有安全門,烘烤降溫到溫度后才可以打開門,確保操作人員操作安全。
1、SUS304 1.5mm不銹鋼板,全滿焊工藝;
2、箱內(nèi)風(fēng)道內(nèi)設(shè)有潔凈空氣入口并裝有高效過濾器??墒褂脫Q氣和不換氣模式,可以使箱內(nèi)保證微正壓,以保證污染物不能進入內(nèi)箱;
3、高效過濾器HEPA過濾網(wǎng)構(gòu)造潔凈室,可以對箱體內(nèi)氣體進行單向過濾和循環(huán)過濾。根據(jù)使用要求,可以滿足潔凈級別ISO Class 5(國標(biāo)100級),ISO Class 6(國標(biāo)1000級),ISO Class 7(國標(biāo)10000級)等各種等級的需求;
4、配置自動充氮氣裝置,與自動開關(guān)風(fēng)門進行充氮烘烤;
5、全新開發(fā)觸摸屏操作系統(tǒng),帶高精度PID主控儀,控溫精度為±0.1℃,自動恒溫??梢员4媾浞?,查看溫度曲線,導(dǎo)出升溫數(shù)據(jù)等;
6、根據(jù)使用要求,可以接受定制。
產(chǎn)品參數(shù)
PRODUCT PARAMETERS
型號 | YH-J100-ES-02 |
溫度范圍 | 常溫—300℃ |
溫度精度 | ±1℃ |
溫度均勻性 | ±2%(空載) |
加熱功率 | 6KW |
容積 | 350L |
工作尺寸(高*寬*深) | 910*620*620(mm) |
外部尺寸(高*寬*深) | 1750*855*1030(mm) |
過濾器 | HEPA耐高溫高效過濾器(CLASS 100) |
含氧量范圍 | 1%-100PPM(選配) |
升溫速率 | 升溫速率可調(diào),空載常溫升至175℃大約30分鐘 |
定制服務(wù)
CUSTOM SERVICE
深圳怡和興可以提供不同程度的均勻性、尺寸、溫度范圍;如果您有特定的要求或規(guī)格,請根據(jù)您的需求與我們聯(lián)系,以便我們確保設(shè)備的設(shè)計、測試和調(diào)整能夠滿足您的要求。