本裝置是在溫度環(huán)境下，設(shè)定加載電壓，對(duì)多通道漏電流進(jìn)行高速測(cè)量的裝置。
1) 加載電壓有兩種模式：300V和1000V
2) 標(biāo)配1臺(tái)控制單元最多可測(cè)試100通道(ch)，1臺(tái)電腦最多可控制4臺(tái)控制單元，即可擴(kuò)展到400通道(ch)。
3) 可設(shè)定溫濕度箱的溫度和濕度
4) 系統(tǒng)最多可搭配4臺(tái)溫濕度箱
5) 擁有溫度補(bǔ)正功能 (溫濕度箱的顯示溫度偏差修正)
6) 用Ethernet I/F和PC連接，實(shí)現(xiàn)高速通信。
Ø 系統(tǒng)構(gòu)成
1) PC（控制用電腦：Windows10）
2) SMU板（10ch/板）1個(gè)測(cè)試單元，可配置10塊板。
3) 環(huán)境試驗(yàn)箱（可使用現(xiàn)有設(shè)備或配套購(gòu)置）
4) 測(cè)試單元：最多可配置10塊板
5) 測(cè)量單元的電源：100V～240V（50Hz或60Hz）
l 測(cè)試單元
測(cè)試板
| 板名稱 | 加載電壓 | 測(cè)試電流 量程 | 電阻測(cè)試范圍 | 測(cè)試通道ch數(shù) (每塊板) | 試驗(yàn)條件設(shè)定 |
| 300V板 | 1.0 ～ 300V | 1.00000mA 10.0000uA 100.000nA | 300Ω～300TΩ | 10ch | 1ch/電源。 每塊板可單獨(dú)設(shè)定 |
| 1000V板 | 1.0V ～1000.0V | 1.00000mA 10.0000uA 100.000nA | 100Ω～1000TΩ | 10ch | 1ch/電源。 每塊板可單獨(dú)設(shè)定 |
規(guī)格
| 設(shè)備名稱 | 絕緣電阻測(cè)試系統(tǒng) | ||
| 型號(hào) | IRM | ||
| 板名稱 | 300V板 獨(dú)立電源板 | 1000V板 獨(dú)立電源板 | |
| 電阻測(cè)試范圍 | 300Ω～300TΩ | 1000Ω～1000TΩ | |
| 測(cè)試通道數(shù) | 10ch/板 (最多100ch/測(cè)試單元) | 10ch/板 (最多100ch/測(cè)試單元) | |
| 連接電纜 | １根/式/板(中繼線) 加載測(cè)試電纜×1 | 2根/式/板(中繼線) 加載電纜×1、測(cè)試電纜×1 | |
| 電壓 加載部 | 電壓范圍 | 1.0～300.0V | 1.0～1000.0V |
| 分辨率 | 0.1V | ||
| 精度 | ±0.3%/FS | ±0.3%+0.5V/FS | |
| 輸出功率 | 400μW/ch | 1000μW/ch | |
| 組 | 1組(10ch/板) | ||
| 量程 | 1量程 | ||
| 通道數(shù) | 10ch | ||
| 負(fù)載容量 | 3300pF/ch | ||
| 電壓 監(jiān)視器 | 量程 | 1量程 | |
| 范圍 | 0.0～300.0V | 0.0～1000.0V | |
| 分辨率 | 0.1V | ||
| 精度 | ±0.3%/FS | ±0.3%+0.5V/FS | |
| 分配單位 | 1ch | ||
| 周期 | 20msec/10ch | ||
| 通道數(shù) | 10ch | ||
| 電流 測(cè)試 | 范圍 | 1000μA ～ 10nA 10μA ～100pA 100nA ～ 1pA | |
| 量程 | 自動(dòng)量程 | ||
| 最小分辨率 | 10nA 100pA 1pA | ||
| 精度 | ±0.3% /FS | ||
| 通道數(shù) | 10ch | ||
| 最小采集周期 | 定期60sec | ||
| 測(cè)試周期 | 20msec(與通道數(shù)無關(guān)) | ||
Ø 板的種類-----獨(dú)立電源板
被測(cè)樣品單個(gè)加載電壓的測(cè)試板。
優(yōu)點(diǎn)：當(dāng)某個(gè)樣品發(fā)生短路，電流超，不會(huì)影響到相鄰的樣品，測(cè)試將繼續(xù)。
Ø 加載電壓
l 加載電壓一定
加載電壓和定期收錄加載電壓相同時(shí)（加載到樣品上的電壓一定時(shí)），如下圖所示，只有在最初的加載電壓時(shí)才會(huì)產(chǎn)生等待時(shí)間，在穩(wěn)定時(shí)間結(jié)束前不進(jìn)行測(cè)量。
l 定期收錄時(shí)的試驗(yàn)電壓
加載、定期收錄、特定收錄的加載穩(wěn)定時(shí)間的設(shè)定，只有在加載電壓變化時(shí)有效。例如，如下圖所示，在加載電壓和定期收錄的加載電壓值不同的情況下（加載到樣品上的電壓發(fā)生變化的情況下），當(dāng)加載電壓發(fā)生變化時(shí)，在穩(wěn)定時(shí)間結(jié)束之前不進(jìn)行測(cè)量。
Ø 故障
樹珊是指在電極之間產(chǎn)生的金屬離子的生長(zhǎng)狀態(tài)下，將基板表面從陰極朝向陽極，樹枝狀金屬成分析出的狀態(tài)。隨著時(shí)間的推移，樹珊逐漸生長(zhǎng)，電極之間流動(dòng)的電流逐漸增大，最終在陽極和陰極之間（+，-電極）接觸，變成短路狀態(tài)，但是短路的地方由于碳化現(xiàn)象絕緣性變大，流動(dòng)的電流非常少。
這種現(xiàn)象被稱為離子遷移，在恒溫恒濕狀態(tài)下，在加載電壓的條件下，記錄最初發(fā)生到形成這
種現(xiàn)象的時(shí)間。
利用樣品的數(shù)量N來分析該現(xiàn)象，可進(jìn)行壽命預(yù)測(cè)。
因此，為了提高壽命預(yù)測(cè)的精度，需要多取樣品數(shù)N。
Ø 軟件
界面
