系統(tǒng)的特點(diǎn)，通過(guò)對(duì)１SMU（Source Measurement Unit）輸出的掃描切換，實(shí)現(xiàn)多通道測(cè)試。
① 由控制部?測(cè)試部?jī)蓚€(gè)單元構(gòu)成。
② 電腦負(fù)責(zé)測(cè)試管理和數(shù)據(jù)處理。
③ 電腦和測(cè)試板之間的I/F，使用LAN（基于以太網(wǎng)Ethernet的串行通訊）。
④ 測(cè)試部和控制部的連接LAN線。
⑤ 使用不間斷電源，停電時(shí)可保護(hù)數(shù)據(jù)。
⑥ 1測(cè)試單元最多可搭載10塊測(cè)試板。
Ø 測(cè)試規(guī)格
l SMU板
有3種測(cè)試模式1) AC導(dǎo)通電阻測(cè)試
2) DC電壓測(cè)試
3) DC電阻測(cè)試
AC導(dǎo)通電阻測(cè)試
加載2kHz的交流，測(cè)試電阻值。電流加載(AC導(dǎo)通電阻測(cè)試)
可從以下5個(gè)電流值中選擇加載電流，進(jìn)行測(cè)試。（有AUTO加載）| No. | 加載 | 加載精度 | 加載頻率 | 備考 |
| 1 | 10uA | ±10% | 2kHz±0.1% | |
| 2 | 100uA | ±10% | 2kHz±0.1% | |
| 3 | 1mA | ±10% | 2kHz±0.1% | |
| 4 | 10mA | ±10% | 2kHz±0.1% | |
| 5 | 100mA | ±10% | 2kHz±0.1% |
電壓限定(AC導(dǎo)通電阻測(cè)試)
| No. | 限定電壓 | 限定精度 | 備考 |
| 1 | 20mV | +25% |
電阻測(cè)試(AC導(dǎo)通電阻測(cè)試)（有AUTO測(cè)試）
| No. | 測(cè)試量程 | 最小 分辨率 | 基本精度 | 備考 | ||||
| 10uA | 100uA | 1mA | 10mA | 100mA | ||||
| 1 | 2.0000kΩ | 100mΩ | 0.4% | |||||
| 2 | 200.00 Ω | 10mΩ | 1% | 0.4% | ||||
| 3 | 20.000 Ω | 1mΩ | 2% | 1% | 0.4% | |||
| 4 | 2.0000 Ω | 100μΩ | 5% | 2% | 1% | 0.4% | ||
| 5 | 200.00mΩ | 10μΩ | 10% | 5% | 2% | 1% | 0.4% | |
| 6 | 20.000mΩ | 1μΩ | 1% | |||||
| 7 | 2.0000mΩ | 100nΩ | 5% | |||||
AUTO量程(AC導(dǎo)通電阻測(cè)試)
自動(dòng)選擇每個(gè)CH的量程。
選擇電流加載量程和電阻測(cè)量量程。
首先選擇電阻測(cè)量量程，在可使用的電流加載量程中，選擇精度電流加載量程。
作為基本動(dòng)作，如果測(cè)定電阻值在電阻量程的10%以下，則將進(jìn)行量程DOWN，如果測(cè)定電阻值在電阻量程的99%以上，則將量程提升。
測(cè)試速度(AC導(dǎo)通電阻測(cè)試)
| 平均次數(shù) | 測(cè)試時(shí)間 |
| 1次(1電源周期) | 250ms/CH |
l DC電壓測(cè)試
加載直流電流，測(cè)試電壓。電流加載(DC電壓測(cè)試)
| No. | 加載量程 | 分辨率 | 范圍 | 加載精度 | 備考 | |
| 1 | 10.000uA | 1nA | 10uA ～ 1nA | ±0.4%/FS | ||
| 2 | 100.00uA | 10nA | 100uA ～ 10nA | ±0.2%/FS | ||
| 3 | 1.0000mA | 100nA | 1mA ～ 100nA | ±0.2%/FS | ||
| 4 | 10.000mA | 1uA | 10mA ～ 1uA | ±0.2%/FS | ||
| 5 | 100.00mA | 10uA | 100mA ～ 10uA | ±0.2%/FS |
電壓測(cè)試(DC電壓測(cè)試)
| No. | 測(cè)試量程 | 分辨率 | 范圍 | 測(cè)試精度 | 備考 | |
| 1 | 2.0000V | 0.1mV | 2V ～ 0.0000V | ±0.2%/FS |
電壓限定(DC電壓測(cè)試)
| No. | 限定電壓 | 限定精度 | 備考 |
| 1 | 4.1V | ±0.2V |
測(cè)試速度(DC電壓測(cè)試)
| 平均次數(shù) | 測(cè)試時(shí)間 |
| 1次(1電源周期) | 41ms/CH (電源頻率50Hz時(shí)) |
測(cè)試時(shí)間計(jì)算式
= 掃描切換時(shí)間 + 電路時(shí)間 + A/D + 電路中斷 + 演算?判定時(shí)間
= 1ms + 5ms + 20ms + 5ms + 10ms
= 41ms
| No. | 電阻量程 | 加載電流 | 分辨率 | 測(cè)試范圍 |
| 1 | 200.00kΩ | 10.000uA | 0.01 kΩ(0.1mV/10 uA) | 200kΩ(2V/ 10uA) ～ 0.00 kΩ |
| 2 | 20.000kΩ | 100.00uA | 0.001 kΩ(0.1mV/100uA) | 20kΩ(2V/100uA) ～ 0.000 kΩ |
| 3 | 2.0000kΩ | 1.0000mA | 0.0001kΩ(0.1mV/1 mA) | 2kΩ(2V/ 1mA) ～ 0.0000kΩ |
| 4 | 200.00 Ω | 10.000mA | 0.01 Ω(0.1mV/10 mA) | 200 Ω(2V/ 10mA) ～ 0.00 Ω |
| 5 | 20.000 Ω | 100.00mA | 0.001 Ω(0.1mV/100mA) | 20 Ω(2V/100mA) ～ 0.000 Ω |
AUTO量程(DC電阻測(cè)試)
因?yàn)椋瑴y(cè)量電壓量程只有一個(gè)，所以，為了電壓變成2V～0.2V，自動(dòng)選擇所加載的電流。測(cè)試速度(DC電阻測(cè)試)
固定量程內(nèi)的測(cè)試時(shí)間與DC電壓測(cè)試相同。使用AUTO量程時(shí)，除了掃描切換時(shí)間以外，還需要考慮量程切換的次數(shù)。
測(cè)試時(shí)間計(jì)算式
= 掃描切換時(shí)間 + ( 加載?測(cè)試時(shí)間 × 量程切換次數(shù) )
= 1ms + ( 40ms × 量程切換次數(shù) )
時(shí)間 = 1ms + ( 40ms × 6 ) = 214ms ※為應(yīng)對(duì)量程發(fā)振，最多1次。
Ø 溫度測(cè)試單元
該單元是可選的，一個(gè)系統(tǒng)可以使用一臺(tái)。1） 溫度傳感器最多可以連接2CH，最多可以測(cè)量1點(diǎn)的溫濕度。
2） 使用的溫度傳感器對(duì)應(yīng)PT100或T型熱電偶。
測(cè)試規(guī)格
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 | 備考 |
| 對(duì)應(yīng)溫度傳感器 | PT100／T型熱電偶 | PT100 JIS C 1604 T型熱電偶 JIS C 1602 |
| 溫度輸入點(diǎn)數(shù) | 2點(diǎn)／單元 | |
| 傳感器線徑 | 0.65mm～1.6mm | 依據(jù)JIS Z-8704標(biāo)準(zhǔn) |
| 測(cè)試溫度范圍 | -200℃～+390℃ | |
| 測(cè)試溫度分辨率 | 1℃ | |
| 測(cè)試溫度誤差 | ±1.5℃ |
l 測(cè)試模式
有三種：熱沖擊式?溫度定值式?無(wú)溫度判定式。
使用溫濕度測(cè)試時(shí)，可以用溫濕度測(cè)試單元，將溫度數(shù)據(jù)中的1個(gè)數(shù)據(jù)和測(cè)試數(shù)據(jù)一起記錄下來(lái)。
熱沖擊模式
可收錄溫度循環(huán)中的低溫區(qū)/高溫區(qū)中各1點(diǎn)數(shù)據(jù)。該模式于使用溫濕度板時(shí)。
(b) 測(cè)試值以高溫限定值和低溫限定值的設(shè)定值為基點(diǎn)，在任意設(shè)定的收錄待機(jī)時(shí)間后，在各溫度下，測(cè)量1次，（將高溫及低溫作為1個(gè)循環(huán)，各測(cè)1次）各限定值的基準(zhǔn)以5℃左右內(nèi)為目標(biāo)進(jìn)行設(shè)定，而不是溫濕度箱的設(shè)定溫度。另外，將各試驗(yàn)時(shí)間（高溫時(shí)間、低溫時(shí)間）的一半作為目標(biāo)設(shè)定收錄待機(jī)時(shí)間。
注）因?yàn)椋瑴y(cè)試系統(tǒng)上搭載的測(cè)試板的數(shù)量會(huì)變動(dòng)，所以，請(qǐng)不要在溫度箱的溫度保持時(shí)間結(jié)束后的3分鐘后設(shè)定數(shù)據(jù)收錄待機(jī)時(shí)間。
(2) 設(shè)定溫度境界值
溫度循環(huán)是從低溫開(kāi)始還是從高溫開(kāi)始,根據(jù)溫度境界值和測(cè)試開(kāi)始時(shí)的溫度（來(lái)自溫濕度測(cè)試的傳感器表面溫度）來(lái)判斷。
（來(lái)自溫濕度板的傳感器與溫濕度箱的傳感器在同一位置時(shí)，箱內(nèi)環(huán)境溫度是試驗(yàn)開(kāi)始的溫度。）
從低溫開(kāi)始試驗(yàn)時(shí)，測(cè)試開(kāi)始時(shí)的溫度＞溫度境界值。
從高溫開(kāi)始試驗(yàn)時(shí)，測(cè)試開(kāi)始時(shí)的溫度＜溫度境界值。
例如）
欲從低溫開(kāi)始試驗(yàn)，測(cè)試開(kāi)始時(shí)的溫度（25℃） ＞ 溫度境界值(20℃以下)
欲從高溫開(kāi)始試驗(yàn)，測(cè)試開(kāi)始時(shí)的溫度（25℃） ＜ 溫度境界值(30℃以下)
溫度定值模式
達(dá)到設(shè)定的溫濕度，在任意設(shè)定的收錄待機(jī)時(shí)間后，按照任意設(shè)定的收錄間隔進(jìn)行測(cè)試。或者，達(dá)到設(shè)定溫濕度后，不會(huì)隨時(shí)測(cè)試溫濕度。
無(wú)溫度判定模式
在與恒溫箱的溫濕度無(wú)關(guān)的情況下，進(jìn)行測(cè)試。軟件
系統(tǒng)的用戶界面使用了Windows 10Pro的GUI，可以輕松編輯條件。
設(shè)定條件
以下為條件設(shè)定畫(huà)面舉例◆熱沖擊模式的條件設(shè)定畫(huà)面例
◆無(wú)溫度判定模式的條件設(shè)定畫(huà)面例
條件
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
| 測(cè)試模式 | [AC電阻測(cè)試] [DC電阻測(cè)試] [DC電壓測(cè)試]三種可選 |
| 溫度模式 | [溫度定值] [溫濕度定值] [無(wú)溫度判定]三種可選 |
| 總試驗(yàn)循環(huán)次數(shù) 總試驗(yàn)時(shí)間 | 1個(gè)試驗(yàn)的溫度循環(huán)次數(shù)或總試驗(yàn)時(shí)間 |
| 經(jīng)過(guò)循環(huán) 經(jīng)過(guò)時(shí)間 | 循環(huán)次數(shù)?時(shí)間計(jì)數(shù)的偏離數(shù) 已有測(cè)試完的數(shù)據(jù)，作為該數(shù)據(jù)的后續(xù)，在進(jìn)行測(cè)試時(shí)設(shè)定。 |
| 溫度穩(wěn)定等待時(shí)間 | 高低溫區(qū)到達(dá)開(kāi)始，到進(jìn)行測(cè)試之間的時(shí)間。 設(shè)定溫度到達(dá)穩(wěn)定的時(shí)間 |
| 平均次數(shù) | 設(shè)定對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)的平均化次數(shù)（通常1次） |
| 收錄間隔 | 記錄數(shù)據(jù)時(shí)間間隔 |
| 加載電流值 | 加載電流值（于DC電壓測(cè)試） |
| 高溫 | 到達(dá)高溫區(qū)的溫度 |
| 低溫 | 到達(dá)低溫區(qū)的溫度 |
| 溫度境界值 | 為了判定測(cè)試數(shù)據(jù)是在高溫區(qū)還是在低溫區(qū)的設(shè)定。 通常，設(shè)定高溫及低溫之間的溫度。 |
| 值判定 | 測(cè)試值在限定值以上，判定為NG。 |
| 高溫?低溫限定值 | 在熱沖擊中，可在低溫區(qū)?高溫區(qū)分別設(shè)定。 |
| NG結(jié)束 | 設(shè)定對(duì)發(fā)生NG的樣品是結(jié)束測(cè)試，還是繼續(xù)測(cè)試。 |
| 相對(duì)值判定 | 以基準(zhǔn)點(diǎn)的測(cè)試值為基準(zhǔn)，超過(guò)變化量或變化率時(shí)，判定為NG。 |
| 判定基準(zhǔn)點(diǎn) | 測(cè)試變化量/變化率判定時(shí)的基準(zhǔn)值 |
| 變化判定 | 選擇變化率或變化量 |
| 高溫?低溫判定 | 變化率/變化量 判定 變化率設(shè)定為[％]、變化量設(shè)定為[mΩ] 熱沖擊試驗(yàn)中，在低溫區(qū)?高溫區(qū)分別設(shè)定。 |
◆溫度模式
| 溫度模式 | 說(shuō)明 |
| 熱沖擊模式 | 在溫度循環(huán)的低溫區(qū)/高溫區(qū)，各記錄1點(diǎn)。 |
| 溫度定值模式 | 到達(dá)設(shè)定的溫度，在設(shè)定的待機(jī)時(shí)間后，按照收錄間隔進(jìn)行測(cè)試。 |
| 無(wú)溫度判定模式 | 不管溫度如何，按收錄間隔進(jìn)行測(cè)試。 |
測(cè)試數(shù)據(jù)顯示
測(cè)試數(shù)據(jù)如下所示。
顯示數(shù)據(jù)內(nèi)容
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
| 試驗(yàn)名 | 輸入試驗(yàn)名稱 |
| 試驗(yàn)狀態(tài) | 試驗(yàn)狀態(tài) |
| 開(kāi)始時(shí)間 | 試驗(yàn)開(kāi)始的時(shí)間 |
| 經(jīng)過(guò)時(shí)間 | 試驗(yàn)經(jīng)過(guò)的時(shí)間 |
| CH數(shù)(結(jié)束) | 結(jié)束測(cè)試的CH數(shù) |
| CH數(shù)(登錄數(shù)) | 試驗(yàn)的CH分配數(shù) |
| 比率 | 試驗(yàn)結(jié)束CH的比率 |
| 隨時(shí)顯示數(shù)據(jù) | 隨時(shí)顯示所有數(shù)據(jù)內(nèi)的最終數(shù)據(jù) |
| Bd－Gp－Pt | Bd:測(cè)試板編號(hào)/Gp:組編號(hào)/Ch:通道編號(hào) |
| 經(jīng)過(guò)時(shí)間 | 數(shù)據(jù)的收錄時(shí)間（于熱沖擊以外的測(cè)試模式） |
| 經(jīng)過(guò)循環(huán) | 數(shù)據(jù)的收錄循環(huán)（于熱沖擊模式） |
| 循環(huán)狀態(tài) | 高溫/低溫（于熱沖擊模式） |
| 電阻值[Ω] | 監(jiān)控電阻值（于AC電阻測(cè)試?DC電阻測(cè)試時(shí)） |
| 變化率[％] | 于值判定，變化率判定時(shí)。 |
| 變化量[Ω/ V] | 于值判定，變化率判定時(shí)。 |
| 電壓值[V] | 監(jiān)控電壓值（于DC電壓測(cè)試時(shí)） |
| 加載電流值[A] | 加載監(jiān)控電流值 |
| 溫度[℃] | 記錄試驗(yàn)箱內(nèi)的溫度 |
| 數(shù)據(jù)數(shù)量 | 記錄數(shù)據(jù)數(shù)量 |
| CH狀態(tài) | 與狀態(tài)畫(huà)面的狀態(tài)一樣的CH狀態(tài) |
| 經(jīng)過(guò)比率 | 循環(huán)進(jìn)步率（熱沖擊模式）?時(shí)間進(jìn)步率（熱沖擊意外的測(cè)試模式） |
曲線顯示
系統(tǒng)顯示曲線如下所示。■ 過(guò)程數(shù)據(jù)曲線
縱軸為電阻值；橫軸為過(guò)程時(shí)間。
最多100CH同時(shí)顯示。
數(shù)據(jù)導(dǎo)出
測(cè)量數(shù)據(jù)以逗號(hào)（、）分段CSV文件形式輸出。也可以在打印機(jī)（選配）上，打印測(cè)定數(shù)據(jù)和過(guò)程數(shù)據(jù)曲線。
溫度修正
在溫度記錄單元的設(shè)定中，干球溫度和濕球溫度的修正值。可對(duì)各溫度CH進(jìn)行修正值設(shè)定。
寫(xiě)入修正前溫度和修正后溫度。
Ø 樣品連接
1) 通過(guò)中繼電纜和測(cè)試線與樣品連接，然后焊接到樣品上。2) 中繼電纜和測(cè)試線無(wú)需工具即可輕松拆卸。
3) 測(cè)試線采用特氟龍「FEP」，耐熱溫度為200℃。
※ 測(cè)試線屬于選配。
Ø 一般規(guī)格
| 控制部 | 電腦 | PC Windows10 Pro 包含19inch Display | |
| 與測(cè)試部的連接 | LAN (Ethernet) | ||
| 其他 | 停電對(duì)策 | 不間斷電源 停電發(fā)生后，收錄數(shù)據(jù)并保存，以確保通電后繼續(xù)測(cè)試。 | |
| 收納單元 | 主機(jī) | 11插槽的外形尺寸： W430×D620×H300mm 重量：約27kg（搭載10塊測(cè)試板時(shí)） 消耗電流：5A 以下（100V 使用時(shí)） | ※不含凸起部分 |
| 耐噪聲 | 1μsec 脈沖 2kV 1分鐘 | ||
| 絕緣電阻 | DC500V 100MΩ 以上 | ||
| 電源 | AC 85V～264V 50／60Hz | ||
| 使用環(huán)境 | 溫度＋10℃ ～ ＋40℃ 濕度75%RH 以下（無(wú)結(jié)露） | ||
| 存放環(huán)境 | 溫度－10℃ ～ ＋60℃ | ||
構(gòu)成清單
| No. | 名稱 | 數(shù)量 | 備考 |
| 1 | 主機(jī) | 1 | 11插槽 |
| 2 | SMU板 | 1 | |
| 3 | 掃描板 | 10 | 含模擬總線電纜 200CH |
| 4 | 掃描板用中繼電纜線 | 20 | |
| 5 | 掃描板用測(cè)試線 | 20 | |
| 6 | 電腦 一臺(tái) 帶增設(shè)LAN卡?Office軟件 | 1 | 含19inch顯示器 |
| 7 | 不間斷電源 220V | 1 | |
| 8 | LAN線 | 2 | |
| 9 | 溫度記錄單元 | ||
| 10 | 軟件安裝盤(pán) | 1 | |
| 11 | 使用說(shuō)明書(shū) | 1 | |
| 12 | 校正證明書(shū) | 1 | |
| 13 | 不間斷電源使用說(shuō)明書(shū) | 1 | |
| 14 | T型熱電偶 5m | 1 |
