產(chǎn)品功能
● 閉合工藝室由 PETP 材質(zhì)做成(碗和防濺環(huán))
● RCCT 系統(tǒng)(旋轉(zhuǎn)閉合腔體技術(shù) Round-Closed-Chamber-Technology)
● 高動(dòng)態(tài)、直接驅(qū)動(dòng)交流伺服電機(jī)
● 旋轉(zhuǎn)速度 6000 rpm +/-1 rpm(可選 10000)
● 可編程電驅(qū)動(dòng)分配手臂,可靜態(tài)或動(dòng)態(tài)滴膠
● 襯底通過(guò)真空固定和安全互鎖保護(hù)
● 一個(gè)滴膠臂,可放置 4 路液體管路
● 液體由玻璃瓶和精密計(jì)量泵來(lái)供應(yīng),包括低液體傳感報(bào)警
● PP材質(zhì)的廢液桶,帶有高液位傳感器