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公司介紹主營產(chǎn)品

上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測設(shè)備、封裝設(shè)備、測試設(shè)備。目前公司已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專業(yè)博士，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

主要應(yīng)用晶圓顯影后的底膠去除或者干法蝕刻工藝后變性的光刻膠去除，光刻膠的去除及對樣片是否有損傷，將影響到后續(xù)工藝和器件的性能。

ASTRO PACT-10H 等離子去膠機(jī) 產(chǎn)品詳情

● 應(yīng)用領(lǐng)域：高劑量離子注入光刻膠的去除，濕法或干法刻蝕前后殘膠去除，MEMS 中犧牲層的去除，去除化學(xué)殘余物，去浮渣工藝，SU-8 光刻膠去除等

● 優(yōu)勢：去膠速度快，對產(chǎn)品損傷小，設(shè)計(jì)緊湊，操作簡單

● 工藝腔室：鋁材質(zhì)，尺寸 350(W)×350(D)×170(H)mm

● 樣品尺寸：12 寸，向下兼容

● 腔門：抽屜式帶加熱臺盤 60 - 200℃（選配 250℃ 加熱臺盤），帶觀察窗

● 微波源：2.45GHz， 1200W

● 氣路：標(biāo)配兩路工藝氣體，帶質(zhì)量流量計(jì)（可升級至 4 路）

● 真空規(guī)：Pirani，PCR280 Standard

● 真空泵：干泵或油泵可選

● 控制系統(tǒng)：10.4 寸觸摸屏，Windows系統(tǒng)，圖形化操作界面

● 電力需求：3 / N / PE AC 50Hz 400 / 240V 16A

● 整機(jī)尺寸：560(W)×770(D)×770(H)mm

關(guān)鍵詞：質(zhì)量流量計(jì) 真空泵控制系統(tǒng) 觸摸屏

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱	更新時(shí)間
艾德克斯ITECH 微功耗量測以及材料研究精密源表 IT2805 200V1.5A20W	面議	深圳市	深圳市賽儀歐電子有限公司	2025-03-04	在線詢價(jià)
自動(dòng)測量圖像尺寸設(shè)備	￥560000	深圳市	深圳市中圖儀器股份有限公司	2025-03-09	在線詢價(jià)
羅卓尼克USB接口水活性快速測量探頭	面議	無錫市	無錫徽科特測控技術(shù)有限公司	2025-03-10	在線詢價(jià)
激光功率測量系統(tǒng) LPMS	面議		上海倍藍(lán)光電科技有限公司	2025-03-10	在線詢價(jià)
水分活度測量儀廠商	面議	常州市	常州金壇泰納儀器廠	2025-03-10	在線詢價(jià)
防爆油箱油位測量裝置	面議	無錫市	無錫市興洲儀器儀表有限公司	2025-02-11	在線詢價(jià)

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