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Triton160 等離子清洗機

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時間2024-08-08
  • 廠商性質其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實名認證已認證
  • 產(chǎn)品數(shù)量167
  • 人氣值562
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上海德竹芯源科技有限公司是一家專注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領域的設備銷售、系統(tǒng)集成、設備國產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導體工藝設備、檢測設備、封裝設備、測試設備。目前公司已成為國內(nèi)少數(shù)幾家專業(yè)提供半導體工藝、檢測、封裝、測試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復旦大學、上海微系統(tǒng)所等半導體相關專業(yè)博士,擁有一支經(jīng)驗豐富、技術過硬的團隊。能夠出色地完成售前售中、售后的服務。目前公司已與眾多國際半導體設備企業(yè)建立了良好的合作關系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等),致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類別提供相應的全套設備選型和工藝整體解決方案。
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該設備主要應用于金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗,塑封(Molding)前的等離子清洗,底部填充(Underfill)前的等離子清洗,光刻膠的去除(Descum)等。
Triton160 等離子清洗機 產(chǎn)品詳情

應用領域

金屬鍵合(wire-bond)前的等離子清洗

通過等離子表面處理可以去除焊盤表面的外來污染物與金屬氧化物,提供一個清潔的焊接面,提升后續(xù)金屬鍵合工藝的良率及鍵合強力。


塑封(Molding)前的等離子清洗

等離子清洗、活化工藝可去除器件表面各種納米級的污染物殘留,并提升表面能,保證塑封料與基底材料的緊密結合,減少分層等不良的產(chǎn)生。


底部填充(Underfill)前的等離子清洗

通過等離子表面處理可以去除焊盤表面的外來污染物與金屬氧化物,提供一個清潔的焊接面,提升后續(xù)金屬鍵合工藝的良率及鍵合強力。


光刻膠的去除(Descum)

在微電子行業(yè)中,使用等離子去除光刻膠是一種常用的工藝,通過等離子處理可去除顯影后孔底的殘膠,并對孔的側壁形貌就行修飾,提升后續(xù)工藝良率。此外,濕法去膠后,用等離子去除表面殘留的納米級光刻膠殘留也可有效提升后續(xù)工藝良率。


設備特點

13.56MHz 射頻電源與自動匹配系統(tǒng),具有優(yōu)異的穩(wěn)定性與可重復性

靈活的電極結構設置與優(yōu)化的氣體饋入、分布方案,確保大批量處理的均勻性

精準安全的反應源供應系統(tǒng),可滿足多種工藝需求

PLC與工控機提供穩(wěn)定的過程控制,設備運行的實時參數(shù)通過顯示屏直觀呈現(xiàn)

系統(tǒng)穩(wěn)定可靠,易于保養(yǎng)與維護


標準技術規(guī)格

設備尺寸:700W × 1200D × 1810H mm -- 2215H mm 帶信號燈高度

腔體尺寸:518W × 648D × 518H mm,173L

腔體支持電極數(shù)量:8,電極間距:57mm

功率電極尺寸:405W × 450D mm,接地電極尺寸:477W × 450D mm

射頻功率及頻率:1250W / 13.56MHz

氣路配置:標配兩路 / 最多可擴充至 5 路氣體

真空泵標準配置:65m3/h油泵 / 80m3/h干泵(可選)


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