應(yīng)用領(lǐng)域

表面清潔與活化

● 材料表面有機(jī)污染物的去除

● 去除納米級(jí)金屬氧化層

● 增強(qiáng)表面膠體流動(dòng)性，消除涂層、塑封料的分層

● 提升表面能，實(shí)現(xiàn)難粘材料的有效結(jié)合

● 表面粗化與微蝕：消除表面應(yīng)力，使材料更易結(jié)合

表面粗化及微刻蝕

● 納米級(jí)表面粗化，應(yīng)力釋放

● 光刻膠去除

● 對(duì)多種材料的選擇性刻蝕

設(shè)備特點(diǎn)

● 設(shè)計(jì)緊湊的桌面型等離子工藝平臺(tái)，易于與廠務(wù)端連接

● 可靠的腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，確保工藝腔體具備優(yōu)異的氣密性與耐用性

● 優(yōu)秀的進(jìn)氣、排氣設(shè)計(jì)，保證工藝過程的均勻性

● 支持多種電極形式與最多 4 路工藝氣體，適用于處理各種產(chǎn)品并適應(yīng)多種工藝要求

● 直觀的圖形控制界面，通過觸屏可實(shí)時(shí)觀察、控制工藝過程

● 13.56MHz 射頻電源與自動(dòng)匹配系統(tǒng)，具有優(yōu)異的穩(wěn)定性和可重復(fù)性

標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格

● 設(shè)備備尺寸：635W × 860D × 690H mm

● 腔體尺寸：340W × 456D × 280H mm，43L

● 腔體支持電極數(shù)量：8，電極間距：57mm

● 功率電極尺寸：226W × 320D mm，接地電極尺寸：300W × 320D mm

● 射頻功率及頻率：300W / 13.56MHz

● 氣路配置：標(biāo)配兩路 / 最多可擴(kuò)充至 4 路氣體

● 真空泵標(biāo)準(zhǔn)配置：25m3/h 油泵