材料科學(xué)的強(qiáng)勁解決方案
PantheraTEC系列是Panthera系列中拓展的功能強(qiáng)勁的用于材料科學(xué)分析的工業(yè)顯微鏡,可使用巧妙的明場、暗場照明概念來處理半導(dǎo)體、LCD面板和晶圓片樣品。為了擴(kuò)大復(fù)合材料的應(yīng)用領(lǐng)域,可以選擇Led透射光照明的顯微鏡機(jī)型。
☆智能暗場照明,5段分段照明模式
☆Plan Achromat BD長距金相物鏡、新 FOV22mm
☆反射、透反機(jī)型可供選擇,上、下光源一鍵切換
☆LED聚光燈自動識別N.A,無需手動調(diào)節(jié);聚光鏡與集光鏡合二為一,保證超長Z軸行程
☆亮度追蹤、亮度顯示及亮度記憶功能,無需反復(fù)調(diào)節(jié)亮度
適用于工業(yè)應(yīng)用的強(qiáng)大功能
PantheraTEC型號為半導(dǎo)體和其他材料的檢測和分析提供了很高的價值,特別是在質(zhì)量控制和技術(shù)教育方面。明場、暗場和簡易的偏光對比度與新的分 段照明相結(jié)合。這一概念允許傾斜入射照明, 非常適合檢測平面和反射表面上的劃痕或其他缺陷 , 而無需移動樣品。
PantheraTEC-BD機(jī)型具有Plan AchromaticBD物鏡,具有出色的成像性能安裝在5孔編碼轉(zhuǎn)換器上。每個目標(biāo)位置的光強(qiáng)會自動記住, 并在再次單擊目標(biāo)后自動調(diào)整。
緊湊的落射照明器具有用于起偏器和檢偏器的插槽, 使其為簡易的偏光設(shè)置做好準(zhǔn)備。照明器還可分別控制照明模式和照明角度。與基本的 20mmFOV系統(tǒng)相比,擴(kuò)展的22mm視野(FOV)提供了 21%更多的視覺區(qū)域。三目觀察筒(25°視角)分光比為 50/50 固定(目視/三筒)。
PantheraTEC顯然專注于材料科學(xué)。反射光照明由3W Led提供。對于復(fù)合材料 , 透反照明會更加適合。在這種情況下, 請使用玻璃臺板。
PantheraTEC-BD-TD 機(jī)型具有內(nèi)置的 SmartCam 和 imagingOn-Device 設(shè)備系統(tǒng),這是一個獨立的顯微鏡,由于其嵌入式Panthera App或您的移動設(shè)備, 可以使用全高清屏幕。
PantheraTEC機(jī)型Panthera家族的個空白?,F(xiàn)在, 可以對不透明的工業(yè)樣品進(jìn)行更廣泛的易用性檢查。PantheraTEC出色的光學(xué)元件提供了的成像效果,靈活的不同配置滿足各種應(yīng)用,智能控制讓顯微鏡更方便使用。
尺寸圖(mm)
PantheraTEC-BF 明場
機(jī)型 | PantheraTEC-BD | PantheraTEC-BD-T | PantheraTEC-BD-TD |
光學(xué)系統(tǒng) | 色差校正無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) | 色差校正無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) | 色差校正無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) |
觀察筒 | 鉸鏈三目觀察筒 | 鉸鏈三目觀察筒 | SmartCam內(nèi)置數(shù)碼觀察筒 |
瞳距(mm) | 48-75 | 48-75 | 48-75 |
三目分光比 | 50/50 | 50/50 | x |
觀察筒傾斜角 | 25°傾斜角,360°旋轉(zhuǎn) | 25°傾斜角,360°旋轉(zhuǎn) | 25°傾斜角,360°旋轉(zhuǎn) |
目鏡 | UC-WF10X/22 | UC-WF10X/22 | UC-WF10X/22 |
目鏡屈光度調(diào)節(jié)范圍 | +/- 5 dpt | +/- 5 dpt | +/- 5 dpt |
轉(zhuǎn)換器 | 五孔明場編碼轉(zhuǎn)換器 | 五孔明場編碼轉(zhuǎn)換器 | 五孔明場編碼轉(zhuǎn)換器 |
物鏡 | Plan Achromat BD長工作距離平場金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 | Plan Achromat BD長工作距離平場金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 | Plan Achromat BD長工作距離平場金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 |
物鏡倍率 | Plan Achromat BD 5X/ 0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/ 0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/ 0.40 (WD 7.3mm), Plan S-APO BD 50X/ 0.80 (WD 1mm) | Plan Achromat BD 5X/0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/0.40 (WD 7.3mm), Plan S-APO BD 50X/0.80 (WD 1mm) | Plan Achromat BD 5X/0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/0.40 (WD 7.3mm), Plan S-APO BD 50X/0.80 (WD 1mm) |
物鏡螺紋 | W 4/5”×1/36”(RMS標(biāo)準(zhǔn)) | W 4/5”×1/36”(RMS標(biāo)準(zhǔn)) | W 4/5”×1/36”(RMS標(biāo)準(zhǔn)) |
中間體 | 明場中間體 | 明場中間體 | 明場中間體 |
載物臺(標(biāo)配) | 3x2”機(jī)械載物臺 | 6x4”機(jī)械載物臺 | 6x4”機(jī)械載物臺 |
載物臺尺寸(mm) | 180x140mm (3”x2”) | 300x180mm (6”x4”) | 300x180mm (6”x4”) |
載物臺行程X&Y (mm) | 75x50mm (3”x2”) | 150x100mm (6”x4”) | 150x100mm (6”x4”) |
聚光鏡 | x | LED聚光鏡 | LED聚光鏡 |
調(diào)焦裝置 | 粗微同軸調(diào)焦,松緊可調(diào) | 粗微同軸調(diào)焦,松緊可調(diào) | 粗微同軸調(diào)焦,松緊可調(diào) |
微調(diào)(μm) | 2 | 2 | 2 |
Z軸行程(mm) | 35 | 35 | 35 |
照明(落射照明發(fā)自中間體) | 3W LED | 3W LED | 3W LED |
照明(透射照明發(fā)自底座) | x | 0.06W * 39 LEDs (LED 聚光鏡) | 0.06W * 39 LEDs (LED 聚光鏡) |
照明特性 | 照明亮度追蹤,亮度記憶,睡眠待機(jī)模式, LED亮度指示功能 | 照明亮度追蹤,亮度記憶,睡眠待機(jī)模式, LED亮度指示功能 | 照明亮度追蹤,亮度記憶,睡眠待機(jī)模式, LED亮度指示功能r |
數(shù)碼特性 | x | x | 內(nèi)置 Smart CAM & ImagingOnDevice 綜合成 像系統(tǒng),5 GB內(nèi)存 |
連接性 | 外置攝像頭USB電源接口 | 外置攝像頭USB電源接口 | HDMI, USB 2.0 外置接口 (x2), Wi-Fi, RJ-45 |
電源 | 110-240V (CE) | 110-240V (CE) | 110-240V (CE) |
包含附件 | 電源線,防塵罩,扳手,金屬支撐板螺釘, 說明書 | 電源線,防塵罩,扳手,金屬支撐板螺釘, 說明書 | 電源線,防塵罩,扳手,金屬支撐板螺釘, 說明書 |
尺寸 L x W x H (mm) | 282x210x450 | 282x210x450 | 282x210x450 |
重量(Kg) | 10 | 10 | 10 |
選配 | |||
選配物鏡 | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield |
選配載物臺 | 6x4”機(jī)械載物臺 | 3x2”機(jī)械載物臺 | 3x2”機(jī)械載物臺 |
選配偏光附件 | 檢偏、起偏 | 檢偏、起偏 | 檢偏、起偏 |
對比技術(shù) | |||
明場 | Yes | Yes | Yes |
暗場 | x | x | x |
DIC | x | x | x |
簡易偏光 | Yes | Yes | Yes |
PantheraTEC-BD 智能暗場
機(jī)型 | PantheraTEC-BD | PantheraTEC-BD-T | PantheraTEC-BD-TD |
光學(xué)系統(tǒng) | 色差校正無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) | 色差校正無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) | 色差校正無限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng)(CCIS®) |
觀察筒 | 鉸鏈三目觀察筒 | 鉸鏈三目觀察筒 | SmartCam內(nèi)置數(shù)碼觀察筒 |
瞳距(mm) | 48-75 | 48-75 | 48-75 |
三目分光比 | 50/50 | 50/50 | x |
觀察筒傾斜角 | 25°傾斜角,360°旋轉(zhuǎn) | 25°傾斜角,360°旋轉(zhuǎn) | 25°傾斜角,360°旋轉(zhuǎn) |
目鏡 | UC-WF10X/22 | UC-WF10X/22 | UC-WF10X/22 |
目鏡屈光度調(diào)節(jié)范圍 | +/- 5 dpt | +/- 5 dpt | +/- 5 dpt |
轉(zhuǎn)換器 | 五孔明暗場編碼轉(zhuǎn)換器 | 五孔明暗場編碼轉(zhuǎn)換器 | 五孔明暗場編碼轉(zhuǎn)換器 |
物鏡 | Plan Achromat BD長工作距離平場暗場金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 | Plan Achromat BD長工作距離平場暗場金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 | Plan Achromat BD長工作距離平場暗場金相物 鏡 / Plan S-APO BD 高 N.A 物鏡 |
物鏡倍率 | Plan Achromat BD 5X/ 0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/ 0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/ 0.40 (WD 7.3mm),Plan S-APO BD 50X/ 0.80 (WD 1mm) | Plan Achromat BD 5X/0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/0.40 (WD 7.3mm), Plan S-APO BD 50X/0.80 (WD 1mm) | Plan Achromat BD 5X/0.13 (WD 17.3mm), Plan Achromat BD 10X/0.25 (WD 16.3mm), Plan Achromat BD 20X/0.40 (WD 7.3mm), Plan S-APO BD 50X/0.80 (WD 1mm) |
物鏡螺紋 | M32 | M32 | M32 |
中間體 | 暗場中間體,智能分段環(huán)形照明 | 暗場中間體,智能分段環(huán)形照明 | 暗場中間體,智能分段環(huán)形照明 |
載物臺(標(biāo)配) | 3x2”機(jī)械載物臺 | 6x4”機(jī)械載物臺 | 6x4”機(jī)械載物臺 |
載物臺尺寸(mm) | 180x140mm (3”x2”) | 300x180mm (6”x4”) | 300x180mm (6”x4”) |
載物臺行程X&Y (mm) | 75x50mm (3”x2”) | 150x100mm (6”x4”) | 150x100mm (6”x4”) |
聚光鏡 | x | LED聚光鏡 | LED聚光鏡 |
調(diào)焦裝置 | 粗微同軸調(diào)焦,松緊可調(diào) | 粗微同軸調(diào)焦,松緊可調(diào) | 粗微同軸調(diào)焦,松緊可調(diào) |
微調(diào)(μm) | 2 | 2 | 2 |
Z軸行程(mm) | 35 | 35 | 35 |
照明(落射照明發(fā)自中間體) | 3W LED,智能分段環(huán)形照明 | 3W LED,智能分段環(huán)形照明 | 3W LED,智能分段環(huán)形照明 |
照明(透射照明發(fā)自底座) | x | 0.06W * 39 LEDs (LED 聚光鏡) | 0.06W * 39 LEDs (LED 聚光鏡) |
照明特性 | 照明亮度追蹤,亮度記憶,睡眠待機(jī)模式, LED亮度指示功能 | 照明亮度追蹤,亮度記憶,睡眠待機(jī)模式, LED亮度指示功能 | 照明亮度追蹤,亮度記憶,睡眠待機(jī)模式, LED亮度指示功能r |
數(shù)碼特性 | x | x | 內(nèi)置 Smart CAM & ImagingOnDevice 綜合成 像系統(tǒng),5 GB內(nèi)存 |
連接性 | 外置攝像頭USB電源接口 | 外置攝像頭USB電源接口 | HDMI, USB 2.0 外置接口 (x2), Wi-Fi, RJ-45 |
電源 | 110-240V (CE) | 110-240V (CE) | 110-240V (CE) |
包含附件 | 電源線,防塵罩,扳手,金屬支撐板螺釘, 說明書 | 電源線,防塵罩,扳手,金屬支撐板螺釘, 說明書 | 電源線,防塵罩,扳手,金屬支撐板螺釘, 說明書 |
尺寸 L x W x H (mm) | 282x210x450 | 282x210x450 | 282x210x450 |
重量(Kg) | 10 | 10 | 10 |
選配 | |||
選配物鏡 | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield | Plan S-APO BD 100x/0.90 darkfield |
選配載物臺 | 6x4”機(jī)械載物臺 | 3x2”機(jī)械載物臺 | 3x2”機(jī)械載物臺 |
選配偏光附件 | 檢偏、起偏 | 檢偏、起偏 | 檢偏、起偏 |
對比技術(shù) | |||
明場 | Yes | Yes | Yes |
暗場 | Yes | Yes | Yes |
DIC | x | x | x |
簡易偏光 | Yes | Yes | Yes |