PSM-1000 工業(yè)顯微鏡 采用全新的一體化設(shè)計(jì)，操作簡(jiǎn)單、方便，性能優(yōu)異、可靠， 功能齊全，可廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以 在3 -30°轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)整觀察眼點(diǎn)的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。
管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤(pán)上裝有1X NUV、1X NIR 和 2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡(jiǎn)單、方便。其中1X NUV對(duì)355nm 和532nm波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化， 1X NIR對(duì)532nm和1064nm 波長(zhǎng)進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個(gè)波長(zhǎng)的激光器時(shí)，可以得到更好的激光透過(guò)率。
光路切換拉桿
通過(guò)推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對(duì)光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時(shí)從攝像接口上入射的激光99%的進(jìn)入光路，提高了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時(shí)，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時(shí)即可用雙目頭觀察，同時(shí)也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件（選配件），可進(jìn)行偏光觀察。
調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)舒適，工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。
物鏡
PSM-1000采用長(zhǎng)工作距離的無(wú)應(yīng)力平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡， 提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請(qǐng)參照APO物鏡樣本。
照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長(zhǎng)達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來(lái)更自由的操作空間。
數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的 CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上， 組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。
探測(cè)工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測(cè)工作站上，進(jìn)行硅片的測(cè)試。
激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷(xiāo)，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補(bǔ)償墊片。無(wú)需專(zhuān)用的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。
注:
在安裝和使用激光器之前，請(qǐng)您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊(cè)。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問(wèn)題，麥克奧迪實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司對(duì)此概不負(fù)責(zé)。
PSM-1000主要技術(shù)參數(shù)
目鏡 | WF10X/24,視場(chǎng)直徑0 24mm,獨(dú)立矯正色差 |
雙目頭 | 瞳距調(diào)節(jié)范圍55 75mm |
上主體 | 分光比為50:50或0:100 |
管鏡 | 1X NUV/VIS; 1X NIR/VIS; 2X VIS |
轉(zhuǎn)換器 | 4孔，中心可調(diào) |
物鏡 | 長(zhǎng)工作距離或超長(zhǎng)工作距離; 無(wú)限遠(yuǎn)平場(chǎng)復(fù)消色差; 齊焦距離: 95mm; 連接螺紋: M26X1/36"（0.706）; 齊焦機(jī)構(gòu)（可選） |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 調(diào)焦行程：52mm;粗動(dòng)手輪4mm/轉(zhuǎn);微動(dòng)手輪0.1mm/轉(zhuǎn)；微動(dòng)手輪μm/格；承載重量：45磅（20.4Kg） |
照明系統(tǒng) | 同軸垂直照明，可變孔徑光欄（0 0.8~ 0 6） |
冷光源 | 輸入電壓：110V或220V; 150W/21V;鹵素?zé)暨b控器（可選） |
移動(dòng)載物臺(tái) | XY行程：75X50mm |
人機(jī)工程頭部 | 轉(zhuǎn)動(dòng)范圍3"-30" |
PSM-1000配置表
名稱(chēng) | 物料編號(hào) | PSM-1000 | PSM-1000S | PSM-1000E | 數(shù)量 | |
目鏡WF10X/24（含護(hù)眼罩） | SG02S0173 | ● | ● | ● | 2只 | |
目鏡 WF15X/16 | SG02T0316 | ○ | ○ | ○ | 2只 | |
目鏡 WF20X/12 | SG02T0317 | ○ | ○ | ○ | 2只 | |
鉸鏈?zhǔn)诫p目 | SP100243 | ● | ● | / | 1 | |
鉸鏈?zhǔn)诫p目 | SP100243A | / | / | ● | 1 | |
上主體組 | SW0199BD | ● | ● | / | 1 | |
變角度上主體組 | AP9977730 | / | / | ● | 1 | |
下主體組 | SW0199BE | ● | / | ● | 1 | |
下主體組（帶3個(gè)偏光插孔） | SW0199Y1 | / | ● | / | 1 | |
四孔轉(zhuǎn)換器組 | SW011715A | ● | ● | ● | 1 | |
調(diào)焦組 | SW0199BG | ● | ● | ● | 1 | |
底座組 | SW010282A | ● | ● | ● | 1 | |
工業(yè)顯微鏡移動(dòng)式載物臺(tái) | SW010338P | ● | ● | ● | 1 | |
長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡* | ELWD2X | SG01S102C3 | ○ | ○ | ○ | 1 |
ELWD5X | SG01S162C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
ELWD10X | SG01S022C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
ELWD20X | SG01S032C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
ELWD50X | SG01S122C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
ELWD100X | SG01S062C3 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
超長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡* | ULWD50X | SG01S122C5 | ○ | ○ | ○ | 1 |
ULWD100X | SG01S062C5 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
可調(diào)焦長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡* | ELWD2X | SG01S102C4 | ○ | ○ | ○ | 1 |
ELWD5X | SG01S162C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
ELWD10X | SG01S022C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
ELWD20X | SG01S032C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
ELWD50X | SG01S122C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
ELWD100X | SG01S062C4 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
可調(diào)焦超長(zhǎng)工作距離復(fù)消色差物鏡* | ULWD50X | SG01S122C7 | ○ | ○ | ○ | 1 |
ULWD100X | SG01S062C7 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
0.5X攝像接筒組（接2/3"CCD） | SP100363 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
0.4X攝像接筒組（接1/2"CCD） | SP100365B | ○ | ○ | ○ | 1 | |
1X攝像接筒組（接2/3"CCD） | SP100386 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
MOTICAM480/1000/2000/3000/5000及配套軟件 | ○ | ○ | ○ | 1 | ||
檢偏插片 | SW01991Z | ○ | ○ | ○ | 1 | |
起偏插片 | SW01992B | ○ | / | ○ | 1 | |
起偏插片（可旋轉(zhuǎn)） | SW01992BA | / | ○ | / | 1 | |
中間插片（可旋轉(zhuǎn)） | SW01993H | / | ○ | / | 1 | |
調(diào)中鑰匙 | SW0199BH | ● | ● | ● | 2 | |
墊圈（安裝激光濾色片時(shí)使用） | SW018880 | ● | ● | ● | 2 | |
十字槽盤(pán)頭螺釘M3X10（安裝激光濾色片時(shí)使用） | SS0120594 | ● | ● | ● | 3 | |
轉(zhuǎn)接環(huán)（數(shù)量根據(jù)訂單） | SW011840 | ○ | ○ | ○ | 1~4 | |
使用手冊(cè)沖文，PSM1000機(jī)） | SP010980 | ● | ● | ● | 1 | |
保修卡 | SP160004 | ● | ● | ● | 1 | |
物鏡顏色標(biāo)貼（含灰、紅、黃、綠、藍(lán)、白） | ST7033 | ● | ● | ● | 1套 | |
合格證 | SP150001 | ● | ● | ● | 1 | |
工業(yè)顯微鏡光纖（輸出端為直頭） | SP990073A | ○ | ○ | ○ | 1 | |
工業(yè)顯微鏡光纖（輸出端為彎頭） | SP990073B | ○ | ○ | ○ | 1 | |
MITUTOY O光纖專(zhuān)用接頭（MITUTO YO型光纖專(zhuān)用） | SP99008A | ○ | ○ | ○ | 1 | |
MLC-150C冷光源 | SP120070 | ○ | ○ | ○ | 1 | |
注：帶"* "號(hào)的為外購(gòu)件，"?"表示標(biāo)配,"O"表示選配，PSM-1000E暫不供貨。
PSM-7000系統(tǒng)配置圖
高級(jí)圖像處理軟件簡(jiǎn)介
Motic Quality Professional主要適用于機(jī)械工業(yè)模具測(cè)量和電子工業(yè)測(cè)量。系統(tǒng)由成像系統(tǒng)（包括測(cè)量工作平臺(tái)、CCD攝像頭）、電腦主機(jī)和工業(yè)測(cè)量軟件三部分構(gòu)成，可以完成精密模具測(cè)量（測(cè)量精度可達(dá)到2微米），電子工業(yè)的電路板分析以及其他幾何測(cè)量工作。
測(cè)量步驟
通過(guò)CCD讀入視頻流成像或?qū)雸D像文件至工作區(qū)（視頻窗口），運(yùn)用各種采集元素工具采集需要的幾何元素（點(diǎn)、線、圓等），然后可以通過(guò)系統(tǒng)提供的 各種構(gòu)造幾何元素的方法（圓、直線、弧、橢圓擬合）形成新的幾何元素，通過(guò)分析元素關(guān)系來(lái)得到測(cè)量的結(jié)果?；蛘咄ㄟ^(guò)對(duì)測(cè)量目標(biāo)進(jìn)行形態(tài)分析得到 測(cè)量數(shù)據(jù)。
平臺(tái)測(cè)量操作
本系統(tǒng)可用于單視場(chǎng)（one field）和多視場(chǎng)測(cè)量（multi fields）,適用于各種不同倍數(shù)的物鏡。單視場(chǎng)測(cè)量指在一個(gè)CCD視場(chǎng)下，無(wú)光柵針對(duì)單幅圖像的測(cè)量；多視場(chǎng)測(cè)量是指在有光柵的測(cè)量平臺(tái)下對(duì)物體進(jìn)行測(cè)量，可以滿足大尺寸物體的測(cè)量。
動(dòng)態(tài)視頻
本系統(tǒng)支持視頻流瀏覽模式，可在動(dòng)態(tài)視頻下完成測(cè)量操作，也可以關(guān)閉視頻流瀏覽模式，對(duì)靜態(tài)圖像進(jìn)行測(cè)量操作。
功能簡(jiǎn)介
