產(chǎn)品關(guān)鍵詞：載流子遷移率、電子遷移率、空穴遷移率、渡越時(shí)間、飛行時(shí)間、TOF、載流子壽命、遷移率壽命積、瞬態(tài)光電流、水平載流子、橫向TOF、橫向載流子、二維載流子成像mapping
于2012年為行業(yè)提供搭建式系統(tǒng)，并于2019年全新推出的業(yè)內(nèi)新款自動(dòng)化、集成化的飛行時(shí)間法遷移率測(cè)量商業(yè)化設(shè)備。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
FlyTOF飛行時(shí)間法遷移率測(cè)量?jī)x是東譜科技HiTran瞬態(tài)綜合光電特性測(cè)量平臺(tái)中的重要成員。該系統(tǒng)利用飛行時(shí)間法（time-of-flight，TOF）測(cè)量半導(dǎo)體材料的遷移率以及相關(guān)的光電特性，廣泛適用于各類半導(dǎo)體材料，如硅基半導(dǎo)體、第二代半導(dǎo)體、第三代寬帶隙半導(dǎo)體、有機(jī)半導(dǎo)體、鈣鈦礦半導(dǎo)體、量子點(diǎn)半導(dǎo)體、二維材料半導(dǎo)體、金屬-有機(jī)框架（MOF）、共價(jià)有機(jī)框架（COF）等。FlyTOF基于我司的MagicBox主機(jī)研制而成，配備便捷的上位機(jī)控制和數(shù)據(jù)測(cè)量軟件，可助力客戶進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的測(cè)量。FlyTOF是東譜科技源頭研發(fā)產(chǎn)品，是業(yè)內(nèi)新款自動(dòng)化、集成化的飛行時(shí)間法遷移率測(cè)試商業(yè)化設(shè)備。
遷移特性是半導(dǎo)體基礎(chǔ)的性質(zhì)之一，是半導(dǎo)體在電子學(xué)和光電子學(xué)等領(lǐng)域進(jìn)行應(yīng)用的基礎(chǔ)。半導(dǎo)體的遷移率定義為單位電場(chǎng)下載流子的平均漂移速度。TOF遷移率測(cè)試方法直接由遷移率的定義發(fā)展而來。 相比于一些間接的遷移率測(cè)試方法，如空間電荷限制電流（SCLC）法等，TOF的方法被認(rèn)為是接近“真實(shí)”遷移率的一種測(cè)量方法。通過TOF瞬態(tài)光電流信號(hào)的分析，可以得到電子遷移率、空穴遷移率等參數(shù)；用戶還可以利用這些數(shù)據(jù)，結(jié)合材料的物理模型進(jìn)行分析，得到雜質(zhì)濃度、缺陷、能帶混亂度、電荷跳躍距離等參數(shù)。
作為TOF遷移率測(cè)試方法商業(yè)化應(yīng)用的先行，東譜科技已攜手客戶廣泛探索了FlyTOF在有機(jī)半導(dǎo)體、硅基半導(dǎo)體、鈣鈦礦半導(dǎo)體、二維材料、共價(jià)有機(jī)框架等領(lǐng)域的應(yīng)用。東譜期待與您共同開拓FlyTOF更多的應(yīng)用領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn)
□ 載流子遷移率測(cè)量值覆蓋10^-9~10^6 cm^2/(V.s)
□ 專業(yè)的信號(hào)調(diào)教，電磁兼容噪聲小
□ 行業(yè)優(yōu)異的TOF測(cè)試功能
□ 軟件自動(dòng)控制，測(cè)試快速便捷
□ 快速換樣裝置，惰性氣體氛圍測(cè)試
□ 可實(shí)現(xiàn)寬溫度范圍的變溫測(cè)試（選配）
□ 可通過可視化系統(tǒng)看到光斑照射情況
□ 可靈活耦合各種類型的激發(fā)光源
產(chǎn)品功能
□ 飛行時(shí)間法瞬態(tài)光電流測(cè)量
□ 半導(dǎo)體材料電子遷移率測(cè)量
□ 半導(dǎo)體材料空穴遷移率測(cè)量
□ 載流子濃度測(cè)量
□ 載流子壽命測(cè)量
□ 可選變溫測(cè)量
□ 可選Lateral-TOF測(cè)試功能及附件
□ 可選配TOF二維掃描（mapping）功能及附件
功能說明：
標(biāo)配TOF：縱向TOF；
Mapping功能：可以對(duì)TOF的信號(hào)進(jìn)行二維平面的成像；
Lateral-TOF功能：可以以水平的方式對(duì)樣品的遷移率進(jìn)行測(cè)試。
產(chǎn)品應(yīng)用
| □ 有機(jī)半導(dǎo)體 | □ 量子點(diǎn)半導(dǎo)體 | □ 元素半導(dǎo)體（Si、Ge等） | □ 金屬-有機(jī)框架（MOF） | □ 二維材料 |
| □ 寬帶隙第三代半導(dǎo)體 | □ 鈣鈦礦材料 | □ 化合物半導(dǎo)體（InGaAs等） | □ 共價(jià)有機(jī)框（COF） | □ 其它半導(dǎo)體材料 |
規(guī)格型號(hào)
| 規(guī)格配置 | 高性能版（E300） | 標(biāo)配版（S300） | 經(jīng)濟(jì)版（W300） |
| TOF標(biāo)配功能 | √ | √ | √ |
| Mapping模塊 | 可選 | 可選 | × |
| Lateral-TOF | 可選 | 可選 | × |
* Lateral-TOF： □ 包含顯微系統(tǒng)、探針系統(tǒng)、針對(duì)Lateral-TOF的光路及電子部件系統(tǒng)等，具有非標(biāo)性質(zhì)，詳情請(qǐng)與銷售專員聯(lián)系。 * 可選配置/部件： □ 337nm 納秒氣體激光器； □ 532nm納秒調(diào)Q固體激光器； □ 355 nm納秒調(diào)Q固體激光器； □ Nd:YAG激光器 1064 nm、532 nm、355 nm、266 nm； □ 可調(diào)諧 OPO 激光器，波長(zhǎng)范圍：210-2400 nm。 | |||
測(cè)試樣例
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