高精度光學(xué)傳遞函數(shù)測量儀是六軸電動(dòng)MTF測試儀器,軟件控制MTF測試分析,滿足有限/有限對(duì)象/圖像共軛光學(xué)測量應(yīng)用。
高精度光學(xué)傳遞函數(shù)測量儀構(gòu)成
無限對(duì)象距離的對(duì)象生成器
鏡頭準(zhǔn)直器
f=200mm/40mm, 通光孔徑28mm
頭發(fā)十字標(biāo)線（10微米線寬）
LED照明
步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),軟件控制準(zhǔn)直器旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
電動(dòng)電控樣品臺(tái)
步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)360°精密旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)用于對(duì)稱性測量
-1個(gè)透鏡安裝適配器平面度 -螺紋或根據(jù)協(xié)議安裝（標(biāo)準(zhǔn)：C型安裝）
-查詢中的其他適配器
圖像分析儀,3軸電動(dòng)
-步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精密聚焦載物臺(tái)，行程50 mm，分辨率0.1μm
-步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精密場載物臺(tái)，50 mm行程，0.1μm分辨率
-步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的精密垂直載物臺(tái)，行程25 mm，分辨率0.1μm
-高質(zhì)量顯微鏡
--攝像機(jī)適配器
--測量物鏡50x，孔徑=0.8
--概述objective10x/0,25用于調(diào)整
--帶測量物鏡的顯微鏡放大倍數(shù)：12倍
--視場=（0.5 x 0.4）mm

高精度光學(xué)傳遞函數(shù)測量儀測量功能
MTF-開/關(guān)軸
-MTF-切向/矢狀
-自動(dòng)對(duì)焦曲線（適用于所有可能的圖像高度和方位角）
-對(duì)稱性測量
-EFL（有效焦距）
-對(duì)母片的BFL
-縱向和橫向色差
--像場曲率
--散光
--失真
通過單獨(dú)的軟件模塊從測量數(shù)據(jù)
高精度光學(xué)傳遞函數(shù)測量儀技術(shù)參數(shù)
EFL范圍：0~20mm
樣品***大自由孔徑：25mm
MTF再現(xiàn)性：±0.02
MTF截止頻率：200 lp/mm（可擴(kuò)展）
EFL測量精度：±0.5%
***大圖像高度：50毫米，圖像的自動(dòng)和軟件控制定位
根據(jù)樣品參數(shù)的分析儀
***大波束赤緯（u´+w´）：53°
***大物體角度u:100°
方位測量：360°，自動(dòng)，軟件控制旋轉(zhuǎn)，任意數(shù)量方位角
標(biāo)準(zhǔn)光譜范圍：400nm~700nm
光譜測量：所有可用的LED波長都可能，其他光源打開查詢，軟件支持縱向和橫向色差的測量
（標(biāo)準(zhǔn)：手動(dòng)*換LED頭）
自動(dòng)對(duì)焦：是的，適用于任何可自由選擇的頻率
自動(dòng)測量序列：是的，測量由自由控制
可編程測量序列
-測量原理：邊緣/狹縫的圖像評(píng)估，切向/矢狀
-手動(dòng)/交互式測量：是，通過操縱桿和手動(dòng)測量