詳細(xì)介紹
CANON 佳能 真空計(jì) M-342DG是在壓力傳感器部采用小型硅MEMS芯片,將溫度、振動(dòng)、氣壓變動(dòng)等外部環(huán)境的影響控制在最小限度,實(shí)現(xiàn)高精度穩(wěn)定的壓力測(cè)量、CANON 佳能 真空計(jì) 精密儀器最小限度的零點(diǎn)調(diào)整頻率的隔膜真空計(jì)。
產(chǎn)品特性
CANON 佳能 真空計(jì) M-342DG具有高精度穩(wěn)定的壓力測(cè)量
優(yōu)異的零點(diǎn)穩(wěn)定性
溫度依賴性低,在沒有溫度調(diào)整機(jī)構(gòu)的情況下實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的穩(wěn)定性
優(yōu)異的耐振動(dòng)噪聲性能
小巧、低功耗
重量200g、尺寸W46mm×H49mm×L106mm、重量輕且緊湊(※1)
功耗0.5W
※1質(zhì)量和尺寸為接頭NW16規(guī)格時(shí)
產(chǎn)品用途
CANON 佳能 真空計(jì) M-342DG廣泛支持真空中壓力的高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定測(cè)量
半導(dǎo)體、顯示器、太陽(yáng)能電池等各種真空裝置
·控制、監(jiān)控濺射、PECVD等真空成膜工藝壓力
·負(fù)載鎖定室、晶片冷卻等氣體導(dǎo)入工藝、CANON 佳能 真空計(jì) 精密儀器系統(tǒng)的壓力管理
醫(yī)療、生物、食品等各種產(chǎn)業(yè),以及各種研究開發(fā)用途
各種涂層、等離子體處理、真空密封、真空爐、分析裝置、滅菌、真空泵評(píng)價(jià)、分子蒸餾等
參數(shù)規(guī)格
型名 | M-342DG | ||||
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-1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
フルスケール圧力(Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
測(cè)定精度(% of reading) | 0.20(at 23 ℃) | ||||
ゼロ點(diǎn)溫度係數(shù)(% of F.S./℃) | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
スパン溫度係數(shù)(% of reading/℃) | 0.01 | 0.005 | |||
分解能(% of Full-scale) | 0.01 | 0.005 | |||
測(cè)定下限圧力(% of Full-scale) | 0.01 | ||||
実用測(cè)定下限圧力(% of Full-scale) | 0.05 | ||||
実用制御下限圧力(% of Full-scale) | 0.5 | ||||
応答速度(ms) | 100 | 30 | |||
加圧上限 | 200 kPa(但しNW16、NW25のものは內(nèi)部が陽(yáng)圧にならないこと) *13.33 Pa仕様は130 kPa | ||||
電源電圧(VDC) | +13.5~26.4 | ||||
消費(fèi)電力(W) | 0.5 | ||||
アナログ出力(VDC) | 0~10 | ||||
使用溫度/保管溫度(℃) | 0~50/-20~70(非動(dòng)作時(shí)) | ||||
大ケーブル長(zhǎng)(m) | 100(専用ケーブル) | ||||
ゼロ點(diǎn)調(diào)整方法 | プッシュスイッチ、リモート入力 | ||||
入出力コネクタ | D-sub9ピン(オス) | ||||
接ガス部材質(zhì) | SUS304、SUS316、Si、ガラス、フッ素ゴム | ||||
フランジ?形狀と質(zhì)量 | NW16(200 g)、NW25(210 g)、8-VCR メス(250 g)、φ70ICF(460 g) | ||||
対応 | CEマーキング、RoHS、IP40 | ||||
安全保障貿(mào)易管理規(guī)制 | 非該當(dāng) | ||||
M-601GC(1ch接続タイプ)、M-603GC(3ch接続タイプ) |
CANON 佳能 真空計(jì) M-342DG
M-342DG-1D M-342DG-1N M-342DG-11 M-342DG-12 M-342DG-13 M-350PG-SD M-350PG-SP M-350PG-R S350PG-RS M-351PG M-361CP-SP M-361CP-RSRRS485 M-370CG-SP M-370CG-RS485 M-311-HG-RS311 SP M-336MX-RS RS485M-601GC M-603GC M-320XG M-431HG M-833HG M-723HG、M-823HG、M-923HG M-012DM MG-2、MG-2MG、MF LG-11SB-A UGD-1S B-A BRG-1B NIG-2F/NIG-2TF PG-150 TG-550C M-342DG-11,M-342DG-12,M-342DG-13 M-341DG-01,M-350PG-SD,M-350PG-SP M-350PG-RS,M-351PG-SP,M-360CP-SP M-360CP-RS,M-311HG-SP,M-311HG-RS M-336MX-SP,M-336MX-RS,M-601GC,M-603GC M-320XG,M-431HG,M-833HG,M-723HG M-823HG,M-923HG,M-012DM, MG-2、MG-2M、MG-2F、MG-2WF M-320XG-N16,M-320XG-N25,M-320XG-C34 M-320XG-C70,M-320XG-VG70,M-390,390-03CR 390-05CR,390-10CR M-336MX-SP-N25,M-336MX-SP-C7