氣動(dòng)超高真空插板閥是用壓縮空氣為動(dòng)力,通過(guò)電磁換向閥改變氣路方向,推動(dòng)氣缸活塞,驅(qū)動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)閥門的開(kāi)啟或關(guān)閉,從而達(dá)到在超高真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。
適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。
性能參數(shù):
-30~150(除傳動(dòng)裝置外) | |
主要材料:
閥體、閥板:不銹鋼
密封件:氟橡膠、波紋管(軸封)
|