全金屬角閥門(Bakeable All-Metal Valve)是屬提升錐閥的一種。當(dāng)提升錐被頂至頂端時(shí), 閥門內(nèi)部的結(jié)構(gòu)腔是開(kāi)放系統(tǒng)且氣體流動(dòng)不受阻礙。一旦提升錐被移動(dòng)至閥門底部時(shí),銅墊片之密封墊被壓縮密封閥門,而阻絕氣體的流通達(dá)到密封之效果。Htc日揚(yáng)真空提供之全金屬閥門設(shè)計(jì)適用于超高真空的環(huán)境下,其封止用的墊片是可耐大溫差之金屬墊片。
全金屬角閥的技術(shù)參數(shù):
工作溫度范圍:可烘烤至:400℃(開(kāi)),300℃(閉)。
壓力范圍:1x10- 10 torr 到 760 torr。
全不銹鋼結(jié)構(gòu)。
泄漏率:10 - 10 mbar·l/sec.
封扭矩:
CR16 First 150kg-cm, Maximum 250kg-cm.
CR35 First 300kg-cm, Maximum 600kg-cm.
CR63 First 300kg-cm, Maximum 900 kg-cm.壽命周期(用于Gasket墊片密封):
CR16 : 垂直/水平安裝方向300次
CR35 : 垂直/水平安裝方向300次
CR63 : 垂直安裝方向300次 水平安裝方向100次方向:任意位置。