產(chǎn)品介紹:
在傳承XQ15-GⅢ激光平面干涉儀的實(shí)用性、耐用性的特點(diǎn)。可更廣泛適用于大批量生產(chǎn)單位的生產(chǎn)車(chē)間大口徑平面及棱鏡平面度檢測(cè)、微小楔角測(cè)量,更適合于大平板生產(chǎn)流水線(xiàn)快速篩選的應(yīng)用。
技術(shù)參數(shù):
1.標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),工作直徑D1=Φ250mm,平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)
2.第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),工作直徑D2=Φ250mm,平面的面形偏差小于0.045μm(λ/15)
3.準(zhǔn)直系統(tǒng)…………………………工作直徑Φ250mm,焦距 f = 580mm,波象差<λ/15
4.工作室尺寸……………………………………………1100×1100×350mm
5.光源規(guī)格……………………………………激光ZN250(He-Ne)(632.8nm)。
6.儀器的外形尺寸……………………………… 1400×1250×1560mm(高)
7.儀器質(zhì)量…………………………………………150kg