具有成像能力的人體工學(xué)設(shè)計(jì)顯微鏡

MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)支持檢測(cè)尺寸達(dá)300毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其他樣品的質(zhì)量。這些符合人體工學(xué)設(shè)計(jì)的人性化系統(tǒng)采用模塊化設(shè)計(jì)，可在各種應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)更佳觀察條件。結(jié)合奧林巴斯Stream圖像分析軟件使用
時(shí)，從觀察到生成報(bào)告的整個(gè)檢測(cè)流程更簡(jiǎn)潔直觀。

滿足電子行業(yè)需求

功能性

為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計(jì)的附加功能以增強(qiáng)分析能力。

人性化

簡(jiǎn)潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松。

的成像技術(shù)

我們成熟可靠的光學(xué)器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測(cè)。

模塊化

用戶可通過選擇適合其應(yīng)用的模塊進(jìn)行系統(tǒng)定制。

功能

的分析工具

MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)果提供更多選擇。

從不可見到可見： MIX觀察與采集

通過暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用， MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。 MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。

支持潔凈室合規(guī)性的設(shè)計(jì)

MX63系列專為潔凈室工作而設(shè)計(jì)，并有效降低樣品污染或受損的風(fēng)險(xiǎn)。該系統(tǒng)采用人體工學(xué)設(shè)計(jì)，可幫助用戶在長時(shí)間使用中保持舒適。 MX63系列符合SEMI S2/S8、 CE和UL等多項(xiàng)國際規(guī)范及標(biāo)準(zhǔn)要求。

人性化

直觀的顯微鏡控制：舒適且使用方便

顯微鏡設(shè)置操作簡(jiǎn)單，讓用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置更加輕松。

成像技術(shù)

為質(zhì)量檢驗(yàn)提供精細(xì)的光學(xué)性能和數(shù)碼成像技術(shù)

奧林巴斯研發(fā)高質(zhì)量光學(xué)器件和數(shù)碼成像技術(shù)的悠久歷史成就了具有測(cè)量精度的一系列可靠光學(xué)器件和顯微鏡。

應(yīng)用

反射光顯微鏡在很多應(yīng)用和行業(yè)中普遍應(yīng)用。以下是采用不同的觀察方法所達(dá)到的一些效果示例。

模塊化

全面可定制

MX63系列設(shè)計(jì)用于讓用戶能夠選擇各種光學(xué)器件滿足其特定的檢測(cè)和應(yīng)用需求。該系統(tǒng)可使用所有觀察方法。

用戶還可從一系列的奧林巴斯Stream圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇，以滿足其特定的圖像采集和分析需求。

兩個(gè)系統(tǒng)兼容多種樣品規(guī)格

MX63系統(tǒng)能夠檢測(cè)尺寸達(dá)200毫米的晶圓，而MX63L可檢測(cè)300毫米的晶圓，兩款具有相同的較小占用空間。 MX63系列的模塊化設(shè)計(jì)可輕松地根據(jù)您的特定需求定制顯微鏡。