交叉光學(xué)(B&P)系統(tǒng)是X射線衍射儀發(fā)展過程中突破性技術(shù)進(jìn)步,即衍射儀測角儀兩套光學(xué)系統(tǒng)并存,軟件控制,實(shí)現(xiàn)在發(fā)散光學(xué)系統(tǒng)(B)與平行光學(xué)系統(tǒng)(P)相互切換,滿足不同測試目的需要,拓展衍射儀應(yīng)用領(lǐng)域。
發(fā)散光學(xué)系統(tǒng)(B):用于常規(guī)的材料結(jié)構(gòu)分析,物相定性、定量分析、Kα1、α2剝離、全譜圖擬合、衍射線條指標(biāo)化、無標(biāo)樣定量分析等功能。
平行光學(xué)系統(tǒng)(P):由X射線多層膜反射鏡將發(fā)散光聚焦成平行光束,平行光束發(fā)散度小于0.5mrad。與三維樣品架配合,實(shí)現(xiàn)對(duì)大于200nm薄膜樣品測量??蓪?shí)現(xiàn)對(duì)薄膜樣品進(jìn)行薄膜反射分析XRR(針對(duì)多晶、單晶多層薄膜厚度、密度、粗糙度進(jìn)行精確分析)、薄膜掠入射分析GIXRD(精確分析多層膜中材料的組成、次序、取向等)。
可適用于:DX-2700系列、DX-2800X射線衍射儀。