SMD1001甲醛氣體傳感器是基于MEMS工藝開發(fā)的半導(dǎo)體氣體傳感器，可用于檢測不同場景下甲醛氣體含量。
采用MEMS工藝、半導(dǎo)體材料
對甲醛有良好的靈敏度、分辨率和準(zhǔn)確性、可檢測30ppb甲醛
尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù)快
驅(qū)動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長、結(jié)構(gòu)堅固，抗震性好
技術(shù)參數(shù)：
| 產(chǎn)品型號 | SMD1001 | |||
| 產(chǎn)品類型 | MEMS半導(dǎo)體傳感器 | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)封裝 | 陶瓷封裝 | |||
| 檢測氣體 | 甲醛（HCHO） | |||
| 檢測濃度 | 0～3ppm(甲醛) | |||
| 分辨率 | 0.04ppm（甲醛） | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)電路條件 | 回路電壓 | VC | ≤5V或3.3V | |
| 加熱電壓 | VH | 1.8±0.05V AC/DC | ||
| 負載電阻 | RL | 可調(diào)（以出貨報告為準(zhǔn)） | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)測試條件下氣敏元件特性 | 加熱電阻 | RH | 45Ω±5Ω（室溫） | |
| 加熱功耗 | PH | ≤30mW | ||
| 敏感體電阻 | RS | 10～500KΩ(in air) | ||
| 靈敏度 | S | R0(in air)/Rs(in 0.4ppm甲醛)≥1.3 | ||
| 斜率 | α | ≤0.6(R0.4ppm/R0.01ppm甲醛） | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)測試條件 | 溫度、濕度 | 20℃±2℃；55%±5%RH | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)測試電路 | VCC:5V或3.3±0.1V； | |||
| VH:1.8V±0.05V | ||||
| 預(yù)熱時間 | 3-5min | |||
| 響應(yīng)時間（T90） | <15s | |||
| 恢復(fù)時間（T10） | <60s | |||
| 壽命 | ≥3年 | |||
模組尺寸：
管教定義：
| Terminal Functions | ||
| NO. | NAME | DESCRIPTION |
| 1 | HOT | Heater |
| 2 | RS1 | Sensor electrode |
| 3 | NG | / |
| 4 | NG | / |
| 5 | NG | / |
| 6 | NG | / |
| 7 | HOT | Heater |
| 8 | RS1 | Sensor electrode |
參考電路圖：
響應(yīng)曲線圖：
| 傳感器典型的靈敏度對數(shù)特性曲線 | 傳感器響應(yīng)恢復(fù)曲線 |
| 傳感器溫濕度曲線 | 傳感器穩(wěn)定性曲線 |
1.1 暴露于可揮發(fā)性硅化合物蒸氣中
傳感器要避免暴露于硅粘接劑、發(fā)膠、硅橡膠、膩子或其它存在可揮發(fā)性硅化合物的場所。如果傳感器的表面吸附了硅化合物蒸氣，傳感器的敏感材料會被硅化合物分解形成的二氧化硅包裹，抑制傳感器的敏感性，并且不可恢復(fù)。
1.2 高腐蝕性的環(huán)境
傳感器暴露在高濃度的腐蝕性氣體（如 H2S，SOX，Cl2，HCl 等）中，不僅會引起加熱材料及傳感器引線的腐蝕或破壞，并會引起敏感材料性能發(fā)生不可逆的劣變。
1.3 堿、堿金屬鹽、鹵素的污染
傳感器被堿金屬尤其是鹽水噴霧污染后，或暴露在鹵素如氟利昂中，也會引起性能劣變。
1.4 接觸到水
濺上水或浸到水中會造成傳感器敏感特性下降。
1.5 結(jié)冰
水在傳感器敏感材料表面結(jié)冰會導(dǎo)致敏感層碎裂而喪失敏感特性。
1.6 施加電壓過高
如果給傳感器或加熱器施加的電壓高于規(guī)定值，即使傳感器沒有受到物理損壞或破壞，也會造成引線和/或加熱器損壞，并引起傳感器敏感特性下降。
1.7 電壓加錯管腳
如果給傳感器或加熱和信號管腳電壓加錯，也會造成引線和/或加熱器損壞，并引起傳感器敏感特性下降。
