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公司介紹主營產品

四方光電（武漢）儀器有限公司為四方光電股份有限公司（代碼688665）的全資子公司，成立于2010年，是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測量方案的高新技術企業(yè)，服務于環(huán)境監(jiān)測、過程氣體監(jiān)測、智慧計量等領域。

基于四方光電核心氣體傳感技術平臺的優(yōu)勢，湖北銳意開發(fā)了系列非分光紅外（NDIR）、紫外差分吸收光譜（UV-DOAS）、激光拉曼（LRD）、超聲波（Ultrasonic）、熱導（TCD）、光散射探測（LSD）等技術原理的氣體成分流量儀器儀表，產品廣泛應用于環(huán)境監(jiān)測、冶金、煤化工、生物質能源等各個行業(yè)，在節(jié)能減排中發(fā)揮重要作用。

四方儀器自主研發(fā)生產的便攜式紅外沼氣分析儀、微流紅外煙氣分析儀、紅外煤氣分析儀曾相繼獲得國家重點新產品證書，紅外煤氣分析儀獲得中國儀器儀表學會優(yōu)秀產品獎榮譽，其核心技術獲得湖北省發(fā)明金獎。四方光電“微流紅外煙氣傳感器研究及產業(yè)化”獲得工信部2019年工業(yè)強基工程重點“產品、工藝”應用計劃示范項目，公司獲得應用計劃示范企業(yè)。

四方儀器憑借長期的技術沉淀、嚴格的質量體系及國際化視野，產品已出口多個國家和地區(qū)，正在朝著氣體分析儀器儀表增值應用領域的國際品牌邁進。

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產品簡介在線詢價

產地	國產	加工定制	是	繞組形式	其他
外形結構	立式	檢測原理	NDIR	檢測氣體	SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)

四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR)，能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，適合半導體行業(yè)化學沉積設備、原子層沉積設備腔室的清潔終點監(jiān)測。

四氟化硅傳感器產品詳情

四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產品基于非分光紅外技術(NDIR)，能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協議，適合半導體行業(yè)化學沉積設備、原子層沉積設備腔室的清潔終點監(jiān)測。

四氟化硅傳感器四氟化硅傳感器產品特性

使用NDIR技術，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

響應時間快，高靈敏度

無耗材

模擬/數字通信

模塊化設計，便于集成

四氟化硅傳感器技術參數

檢測原理	NDIR
檢測氣體	SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)
重復性	±0.5%
線性	±1%F.S.
檢測限	1ppm

關鍵詞：傳感器氣體傳感器

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