
SMD1015丙酮?dú)怏w傳感器是基于金屬氧化物材料開發(fā)的MEMS微型氣體傳感器,可用于檢測呼出口氣中的丙酮?dú)怏w含量,該傳感器具有低功耗、小尺寸、低成本等特點(diǎn)。
本品采用MEMS工藝,結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,對(duì)一氧化碳靈敏度高;具有尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應(yīng)恢復(fù) 快、驅(qū)動(dòng)電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等優(yōu)點(diǎn)。
技術(shù)參數(shù): 產(chǎn)品型號(hào) SMD1015 產(chǎn)品類型 MEMS半導(dǎo)體傳感器 標(biāo)準(zhǔn)封裝 陶瓷封裝 檢測氣體 丙酮 檢測濃度 0-500ppm 分辨率 0.1ppm 工作溫度 -20-55℃ 工作濕度 10-95%RH 標(biāo)準(zhǔn)電路條件 回路電壓 VC 5V或者3.3V 加熱電壓 VH+ 1.8V±0.1V AC / DC 負(fù)載電阻 RL 可調(diào)(以出貨報(bào)告為準(zhǔn)) 標(biāo)準(zhǔn)測試條件下氣敏元件特性 加熱電阻 RH 45Ω±5Ω(室溫) 加熱功耗 PH ≤30mW 敏感體電阻 R0 10KΩ~1000KΩ(in air) 靈敏度 S R0(in air)/Rs(in 1ppm C2H6O)≥1.5 斜率 α ≤0.5(R3ppm/R1ppm(C2H6O) 標(biāo)準(zhǔn)測試條件 溫度、濕度 20℃±2℃;55%±5%RH 標(biāo)準(zhǔn)測試電路 Vcc:5V或者3.3V VH :1.8V±0.1V,可使用2.2V來縮短預(yù)熱時(shí)間 預(yù)熱時(shí)間 3-5min 響應(yīng)時(shí)間(T90) <30s 恢復(fù)時(shí)間(T10) <60s 壽命 ≥3年
模組尺寸:
管腳定義
Terminal Functions | ||
NO. | NAME | DESCRIPTION |
1 | HOT1+ | Heater1 |
2 | VCC | Sensor electrode |
3 | HOT2+ | / |
4 | NG | / |
5 | NG | / |
6 | Vout2 | / |
7 | HOT | Heater2 |
8 | Vout1 | Sensor electrode |
特性曲線:
注:圖中所有測試均在標(biāo)準(zhǔn)測試條件下完成,Ro表示傳感器在潔凈空氣中的穩(wěn)定電阻,Rs表示傳感器在一定濃度的氣體氛圍中的穩(wěn)定電阻值,橫坐標(biāo)為持續(xù)通電的老化時(shí)間,縱坐標(biāo)為傳感器的實(shí)際電阻值
長期穩(wěn)定性
1.1 暴露于可揮發(fā)性硅化合物蒸氣中
傳感器要避免暴露于硅粘接劑、發(fā)膠、硅橡膠、膩?zhàn)踊蚱渌嬖诳蓳]發(fā)性硅化合物的場所。如果傳感器的表面吸附了硅化合物蒸氣,傳感器的敏感材料會(huì)被硅化合物分解形成的二氧化硅包裹,抑制傳感器的敏感性,并且不可恢復(fù)。
1.2 高腐蝕性的環(huán)境
傳感器暴露在高濃度的腐蝕性氣體(如 H2S,SOX,Cl2,HCl 等)中,不僅會(huì)引起加熱材料及傳感器引線的腐蝕或破壞,并會(huì)引起敏感材料性能發(fā)生不可逆的劣變。
1.3 堿、堿金屬鹽、鹵素的污染
傳感器被堿金屬尤其是鹽水噴霧污染后,或暴露在鹵素如氟利昂中,也會(huì)引起性能劣變。
1.4 接觸到水
濺上水或浸到水中會(huì)造成傳感器敏感特性下降。
1.5 結(jié)冰
水在傳感器敏感材料表面結(jié)冰會(huì)導(dǎo)致敏感層碎裂而喪失敏感特性。
1.6 施加電壓過高
如果給傳感器或加熱器施加的電壓高于規(guī)定值,即使傳感器沒有受到物理損壞或破壞,也會(huì)造成引線和/或加熱器損壞,并引起傳感器敏感特性下降。
1.7 電壓加錯(cuò)管腳
如果給傳感器或加熱和信號(hào)管腳電壓加錯(cuò),也會(huì)造成引線和/或加熱器損壞,并引起傳感器敏感特性下降。