1.設(shè)備名稱：
等離子體材料表面改性試驗(yàn)裝置
2.設(shè)備功能：
在真空條件下，注入不同的單一介質(zhì)氣體或按比例混合的混合介質(zhì)氣體，然后施加設(shè)定的高電壓，激發(fā)出低溫等離子體轟擊材料表面，實(shí)現(xiàn)金屬、陶瓷、塑料等材料基片的表面改性。同時(shí)設(shè)備具有進(jìn)行氟氣的特殊氣體的表面滲透處理的功能。在氟化腔體和真空等離子腔體之間可通過(guò)真空直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)以實(shí)現(xiàn)樣品基片在不同腔體之間的轉(zhuǎn)移。
3.設(shè)備特點(diǎn)：
①.設(shè)備具有兩個(gè)真空腔體，一個(gè)等離子放電腔體，一個(gè)氟化腔體。兩個(gè)腔體之間采用電動(dòng)高真空閥門隔離，根據(jù)需要即可分開(kāi)使用也可分別使用。通過(guò)排氣路的高真空蝶閥的切換可以實(shí)現(xiàn)真空氣路方向的改變。；
②.等離子放電腔體采用了下平底，上球罐封頭的圓筒型真空腔體結(jié)構(gòu)，容積約30L。腔體采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材質(zhì)，表面拋光處理。腔體上端設(shè)置了特殊設(shè)計(jì)的真空高壓引入電極，可引入電壓50KV。腔體手孔門采用了三點(diǎn)鎖緊的快開(kāi)型真空門，真空門上設(shè)置了石英玻璃視窗，腔體上另外具備了兩個(gè)呈90度分布的石英玻璃觀察窗，方便試驗(yàn)過(guò)程便于觀察和攝像。在腔體上具有與腔體高度絕緣的專用地電極，有方便通信和進(jìn)行內(nèi)部元件控制的真空航插接頭和真空NBC接頭，接入了符合真空密封等級(jí)的光纖以滿足就近觀察試驗(yàn)區(qū)域的要求。腔體安裝了電阻真空規(guī)和超高精度的數(shù)字真空壓力表，以滿足對(duì)不同真空壓力分段的測(cè)量。腔體預(yù)留了電離真空規(guī)接口和高真空分子泵接口，在任何需要的情況下加裝高真空裝置即可實(shí)現(xiàn)高真空的試驗(yàn)需要。
③.氟化腔體采用上下平底的圓筒型真空結(jié)構(gòu)，腔體容積約4L。在氟化腔體一端設(shè)置了運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝法蘭并安裝了真空直線運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。為了避免使用過(guò)程中對(duì)不銹鋼腔體腐蝕，氟化腔體內(nèi)外表面采用了*的高溫聚四氟乙烯噴涂工藝進(jìn)行了防腐處理，涂層致密牢靠，可以耐受HF酸的腐蝕。
④.為了能夠控制試驗(yàn)腔體內(nèi)的氣體壓力和成分，等離子放電腔體設(shè)置了兩路充氣通路，氟化腔體采用了一路充氣通路。充氣通路均采用了精密高真空微調(diào)閥作為充氣控制閥。通過(guò)控制充氣閥開(kāi)度，真空微調(diào)閥可以將充氣的壓力變化控制在2Pa以內(nèi)。
⑤.設(shè)備所涉及的真空腔體及管路系統(tǒng)均按照高真空標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)，以便滿足設(shè)備升級(jí)的需要。
4.設(shè)備主要性能：
①.真空性能
低配（未加裝高真空系統(tǒng)）：真空0.3Pa
高配（加裝高真空系統(tǒng)）：真空5×10-4Pa
設(shè)備總體漏率：2×10-6Pa·m3/s
②.正壓試驗(yàn)壓力
0.2MPa
③.接入電壓
標(biāo)準(zhǔn)：50KV
非標(biāo)：100KV
④.運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)
標(biāo)準(zhǔn)：行程：650mm，手搖旋轉(zhuǎn)推進(jìn)，自動(dòng)抓取。
非標(biāo)：行程定制，推進(jìn)可電動(dòng)，抓取方式可定制
⑤.系統(tǒng)控制
低配：隔離閥門電動(dòng)，氣路切換手動(dòng)，泵手動(dòng)
高配：隔離閥門電動(dòng)，氣路切換電動(dòng)，泵系統(tǒng)PLC控制
