1.設(shè)備名稱：
常溫SF6氣體針板放電試驗(yàn)裝置
2.設(shè)備功能：
在真空條件下，注入低氣壓試驗(yàn)SF6氣體，然后施加設(shè)定的高電壓，實(shí)現(xiàn)針板電暈放電。內(nèi)部垂直方向安裝了針板放電電極組，針電極在上通過腔體上部的真空高電壓絕緣子引入高電壓，板電極在下通過專門設(shè)計(jì)的地電極接地，板電極在垂直方向高低可調(diào)。充氣過程的充氣壓力可以實(shí)現(xiàn)高精度調(diào)節(jié)。裝置集成在一個移動小車上，方便使用和搬運(yùn)。
3.設(shè)備特點(diǎn)：
①.設(shè)備具有一個高壓腔體，腔體容積約10L。采用了上下平蓋封頭的臥式結(jié)構(gòu)腔體。沿圓周方向設(shè)置了2個互相垂直的石英玻璃視鏡，方便觀察和攝像。設(shè)置了一個手孔開門，采用門軸式開門機(jī)構(gòu)。腔體上方有高電壓引入的絕緣子，引入電壓100KV。裝置配置了油封旋片式雙級真空泵，并安裝了電阻真空規(guī)、低氣壓壓力數(shù)字壓力表、正壓壓力數(shù)字壓力表以滿足不同試驗(yàn)氣壓值分段的高精度測量。腔體內(nèi)部進(jìn)行了拋光處理。腔體分別連接了真空抽氣通路和工藝氣體的充氣通路。
②.內(nèi)部板電極運(yùn)動機(jī)構(gòu)采用了絲杠螺母式調(diào)節(jié)方式。通過精密加工和在軸向以及旋鈕圓周的高精度刻度線，可以實(shí)現(xiàn)針板距離調(diào)節(jié)滿足Z小0.1mm移動精度。
③.為了滿足高精度的充氣氣壓要求，充氣過程通過一組三個高精度真空微調(diào)閥來進(jìn)行。通過微調(diào)閥開度的控制可以將充氣壓力過程的控制精度到2Pa，有效地防止了過充造成的試驗(yàn)數(shù)據(jù)不穩(wěn)定。另外試驗(yàn)過程可能采用多元混合氣體，所以裝置安裝了三個真空微調(diào)閥以滿足同時對不同氣體進(jìn)行充裝作業(yè)。
④.系統(tǒng)抽氣泵配置了油封旋片式雙級真空泵，介質(zhì)氣體采用了瓶裝氣體。
⑤.設(shè)備充抽氣管路的通斷和切換均采用了手動真空壓力球閥，既可以實(shí)現(xiàn)真空下的嚴(yán)格密封也可以適應(yīng)較高氣壓下的嚴(yán)格密封。
⑥.腔體通過特殊設(shè)計(jì)的圓形底座安裝于移動小車之上。
4.設(shè)備主要性能：
①.真空性能
真空：0.2Pa
設(shè)備總體漏率：2×10-5Pa·m3/s
②.正壓試驗(yàn)壓力
壓力：0.6MPa
正常試驗(yàn)壓力：0.4MPa
③.接入電壓
100KV
④.針板距調(diào)節(jié)
調(diào)節(jié)范圍：60mm
調(diào)節(jié)精度：0.1mm
