Automegasamdri-936, Series C
產(chǎn)品特點:
- 新配置的專用“慢充”控制,給樣品腔體提供理想的二氧化碳流體動力學,保護了大多數(shù)易脆樣品;
- 外部配置了PURGE后的過濾裝置,保護樣品,容易更換和后期維護;
- 采用了的“Vortex Swirl”非機械攪拌,使PURGE而不至于破壞樣品;
- 高效內(nèi)部封閉冷卻循環(huán)系統(tǒng),可以快速冷卻腔體溫度,縮短操作時間;
- 內(nèi)置SOTER冷凝器,分離廢棄乙醇和廢氣,消除排氣噪音;
- 的樣品室填塊,可以改變樣品室直徑,減少液態(tài)二氧化碳的消耗量和處理時間,并兼容不同尺寸晶圓的處理;
- 內(nèi)部過濾系統(tǒng),過濾流進樣品室的液態(tài)二氧化碳,過濾顆粒尺寸達到0.08μm;
- 一次運行可以處理5片6英寸晶圓,改變樣品室尺寸,每次運行也可以分別處理4英寸、3英寸、2英寸晶圓及10mm方晶;
- 標配特氟龍兼容的6英寸、4英寸、3英寸、2英寸晶圓樣品架和10mm方晶樣品架各1個;
- 垂直樣品室,內(nèi)腔有照明,樣品室蓋子帶觀察窗;
- 明亮的LCD觸屏控制;
- 內(nèi)置出廠自動運行程序并可創(chuàng)建和保存?zhèn)€性化程序;
- 所有內(nèi)部表面適用于CO2,丙酮和超純乙醇;
- 可以重復設置的參數(shù),確保結果的可重復性;
- 集成自動控溫和靜態(tài)壓力控制模塊,確保自動安全的運行;
- 潔凈室和防靜電兼容設計;
- 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準;
產(chǎn)品規(guī)格:?
- 外部尺寸:寬19.8” (50.3 cm) × 深31.7” (80.6 cm) × 高44.5” (113.0cm);
- 安裝占地尺寸:寬27” (68.6 cm) × 深38” (96.5 cm);
- 樣品室尺寸:內(nèi)徑6.5” × 深1.25”,樣品室容積:679 ml;
- LCO2的流速是通過帶游標卡尺的微型計量閥門來控制;
- 120V/50-60HZ(可選其他電壓);
- 高壓不銹鋼LCO2管(內(nèi)襯Teflon) 3 米長;
- 雙T型過濾裝置,雙重過濾微小顆粒,過濾裝置可預先與LCO2管連接,安裝方便;
- 安裝工具;
- 防靜電排氣管,用于PURGE/VENT/BLEED和COOL時的排氣;
- 樣品室O型圈3個,樣品室LED照明燈1個,3A和8A保險絲各2個;
- 4個Teflon樣品室填塊,使得樣品室直徑包括6、4、3、2和1.25英寸;
- 直徑為6、4、3、2英寸晶圓樣品架和邊長為10 mm方晶樣品架各1個,樣品架HF兼容;
- 用戶手冊;