SpecEI橢圓偏振光譜儀系統(tǒng)
SpecEl 橢偏儀
SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過(guò)測(cè)量基底反射的偏振光，進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率。SpecEl通過(guò)PC控制來(lái)實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測(cè)量。
集成的精確測(cè)量系統(tǒng)
SpecEl由一個(gè)集成的光源，一個(gè)光譜儀及兩個(gè)成70°的偏光器構(gòu)成，并配有一個(gè)32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測(cè)量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測(cè)量可達(dá)0.005%。
SpecEl可通過(guò)電話問(wèn)價(jià)。
SpecEl軟件及Recipe配置文件
通過(guò)SpecEI軟件，你可以配置及存貯實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方法實(shí)現(xiàn)一鍵分析，所有的配置會(huì)被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后，你可以選擇不同的recipe來(lái)執(zhí)行你的實(shí)驗(yàn)。
SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來(lái)計(jì)算厚度，折射率及吸光率。
配置說(shuō)明
| 波長(zhǎng)范圍: | 380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選) |
| 光學(xué)分辨率: | 4.0 nm FWHM |
| 測(cè)量精度: | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
| 入射角: | 70° |
| 膜厚: | 單透明膜1-5000 nm |
| 光點(diǎn)尺寸: | 2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 µm x 400 µm (可選) |
| 采樣時(shí)間: | 3-15s (最小) |
| 動(dòng)態(tài)記錄: | 3 seconds |
| 機(jī)械公差 (height): | +/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0° |
| 膜層數(shù): | 至多32層 |
| 參考: | 不用 |
