CNC視頻圖象坐標(biāo)測(cè)量?jī)x
NEXIV VMR-H3030系列
該設(shè)備具有的精度以及多種多樣的功能,XYZ行程為300×300×150毫米,不僅可以用于各種精密模具、精密零件的測(cè)量,還可以作為精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備使用。 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動(dòng)影象對(duì)焦以及具有掃描功能的激光自動(dòng)對(duì)焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組,可以在各段(倍率)間進(jìn)行自由切換,以滿足低倍大視場(chǎng)觀察搜索和高倍精密測(cè)量?jī)煞矫娴男枨?。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有的精度,加上其合理的布局以及?jiān)固耐用的硬件設(shè)計(jì),使 NEXIV VMR-H3030 的測(cè)量不確定度達(dá)到了亞微米級(jí),可以滿足精密模具的檢測(cè)需求。
1、2、3 型
超高精度,適于用作精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備;
3個(gè)型號(hào)(1、2、3 型)各自有 5 級(jí)放大倍率,可滿足不同視場(chǎng)及倍率要求;
有多種多樣的照明方式可供選擇,以確保模具邊界準(zhǔn)確探測(cè)的需求;
較長(zhǎng)的工作距離(50毫米),可滿足測(cè)量對(duì)工件高度方向的空間需求;
高達(dá)15倍的變焦比,可以滿足低倍大視場(chǎng)觀察搜索和高倍精密測(cè)量?jī)煞矫娴男枨?。與無(wú)級(jí)變焦機(jī)構(gòu)相比,采用5段、定倍自動(dòng)變焦機(jī)構(gòu)可以使測(cè)量更加快速、準(zhǔn)確。
應(yīng)用領(lǐng)域:
精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備,模具及精密機(jī)械零件測(cè)量。
精密掩模板
精密機(jī)械零件
模具
Z120X 型(帶高倍頭)
具有超高精度的載物臺(tái),與高倍頭配合使用,能夠準(zhǔn)確測(cè)量工件的細(xì)微部位(如精密掩膜及芯片凸點(diǎn)高度等關(guān)鍵尺寸)光學(xué)放大倍數(shù)可達(dá)120X,能夠測(cè)量微距線寬;
高速、高精度的載物臺(tái)有助于對(duì)較大的物體尺寸,進(jìn)行快速、準(zhǔn)確地測(cè)量;
可以分別測(cè)量刻線的上下寬度;
激光自動(dòng)掃描功能,可以用來(lái)測(cè)量芯片上的微小凸點(diǎn)高度以及錫球截面形狀等;
可以對(duì)激光掃描所得的截面輪廓形狀進(jìn)行評(píng)估。
應(yīng)用領(lǐng)域:
各種芯片級(jí)封裝、芯片上的凸點(diǎn)高度、各種精密掩膜板等。
精密掩模板
倒裝芯片上的凸點(diǎn)
芯片凸點(diǎn)形貌色標(biāo)顯示