尼康影像儀
CNC視頻圖象坐標(biāo)測量儀
NEXIV VMR-K3040ZC
這是一款共聚焦(Confocal)型的視頻圖象坐標(biāo)測量儀,它能夠在同一視場內(nèi),同時完成二維平面和一維高度的高精度測量。高速、高精度地檢測的IC封裝的立體形狀。
1、2、3 型
利用共聚焦光路,實(shí)現(xiàn)大視場、高速、高精度的微觀高度測量;
在同一視場內(nèi),能夠同時完成二維平面和一維高度的高精度測量;
同時擁有普通機(jī)型的15倍高速CNC變焦光學(xué)系統(tǒng),可以進(jìn)行明暗場圖象的二維幾何測量;
8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動影象對焦以及具有掃描功能的激光自動對焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置;
通過對硅片尺寸、芯片尺寸、芯片間隔的,可以按圖定位測量其中的任意一個芯片;
具有等高線顯示、鳥瞰顯示等選配功能。
應(yīng)用領(lǐng)域:
硅片級芯片封裝(二維+高度)、MEMS、Probe Card等。
明場
共聚焦
合成效果