產(chǎn)品介紹INTRODUCTION

ParkXE15具備多個特殊功能,是共享實驗室處理各類樣品、硏究員進行多變量實書笑效分析時硏究晶片等的。合理的價格搭配強健的性能設置，使其成為業(yè)內(nèi)的大型樣品原子力顯微鏡。

MultiSample™（多重采樣™）掃描器帶來樣品測量

ParkXE15能夠?qū)崿F(xiàn)多樣品一次性自動成像，實現(xiàn)大化。您只需要將樣品放在樣品臺，再啟動掃描程序便可。該功能還可在相同環(huán)境條件下掃描樣品，從而大大提高數(shù)據(jù)的精確性和穩(wěn)定性。

可掃描大件樣品

與大多數(shù)的原子力顯微鏡不同，ParkXE15可掃描尺寸為150mmx150mm的樣品。這既滿足了研究員對掃描大件樣品的需求，也讓故障分析工程師能夠放置硅片在樣品臺上。

功能齊全，可滿足各種需求

ParkXE15配有面的掃描模式，可掃描各種尺寸的樣品，從而滿足每位研究人員的需求。

特點FEATURES

通過多重采樣™掃描進行樣品測量

• 多樣品一次性自動成像
• 特殊設計的多樣品夾頭，最多可承載16個獨立樣品
• 全自動XY樣品載臺，行程范圍達150 mm×150 mm.

無軸間耦合提高掃描精度

• 用于樣品和探針的獨立閉環(huán)XY和Z平板式掃描平板式和線性XY掃描可達100μm x 100μm，且殘余壓彎小
• 整個掃描范圍內(nèi)的異面移動小于2nm
• 強力掃描器帶來可達25μm的Z掃描范圍
• 更精確的高度測量

Non-Contact™ （真正非接觸™）模式延長針尖使用壽命、改善樣品保存及精度

• 其Z掃描頻寬是基于壓電管系統(tǒng)的10倍
• 非接觸式可降低針尖磨損、延長使用壽命
• 成像分辨率高于同類原子力顯微鏡
• 降低樣品干擾，提高掃描精度

提供用戶體驗

• 開放式空間方便樣品和針尖更換
• 預對準的針尖安裝和無二的軸上俯視法可簡單直觀地實現(xiàn)激光對準
• 燕尾鎖設計結(jié)構(gòu)可輕松裝卸掃描頭
• 界面帶自動設置功能，方便用戶使用

選項/模式多樣化

• 綜合性測量模式及特性設置，是我司通用型原子力顯微鏡
• 多種可選配件及更新，擴展性能*
• 為缺陷分析提供*電性質(zhì)測量

優(yōu)勢ADVANTAGE

無掃描器弓形彎曲的平直正交XY軸掃描

park的串擾消除技術不僅改善了掃描器弓形彎曲的缺點還能夠在各種不同掃描位置,掃描速率和掃描尺寸條件下進行平直正交的XY軸掃描。

即使是最平坦的樣品也不會出現(xiàn)如光學平面,各種偏移掃描等曲率的背景。 由此可以為您在研究中遇到的所有極具挑戰(zhàn)性的問題提供高精確度的納米測量。

無耦合關系的XY和Z掃描器

Park和競爭對手最根本的區(qū)別在于掃描器的構(gòu)造，Park又獨立的XY軸與Z軸掃描器設計使其達到了的高精度的納米分辨率數(shù)據(jù)。

精確的表面測量

樣品表面平直掃描!

• 低殘差弓形彎曲
• 無需軟件處理(原始數(shù)據(jù))
• 不受掃描位置影響也會有精確的掃描結(jié)果

真正非接觸模式TM可保護針尖鋒利度

原子力顯微鏡的針尖本身很脆弱，與樣品接觸時會逐漸降低圖片質(zhì)量和分辨率。測量表面柔軟的樣品時，針尖也會破壞樣品并生成不準確的樣品高度測量數(shù)據(jù)。

作為Park原子力顯微鏡最的一種掃描模式，真正非接觸模式下™可持續(xù)生成高分辨率且精確的數(shù)據(jù)從而保持樣品的完整性。

更快速的Z軸伺服使得True Non-Contact AFM有更精確的反饋

Tapping Imaging

• 針尖磨損加速=低分辨率掃描
• 破壞性的針尖樣品接觸=樣品受損
• 參數(shù)依賴性強

True Non-Contact™模式

• 針尖磨損更低=高分率掃描更長久
• 無損式探針一樣品接觸=樣品受損最小化
• 可避免參數(shù)依賴

100μmx 100μm掃描范圍的XY柔性導向掃描器

XY掃描器含系統(tǒng)二維彎曲及強力壓電堆疊，可使極小平面外移動形成較大的正交運動，并能快速響應，實現(xiàn)精確的樣品納米級掃描。

撓性導向強力Z掃描器

在強力壓電堆疊的驅(qū)動及彎曲結(jié)構(gòu)的引導下，其硬度允許掃描器高速豎直運動，較傳統(tǒng)原子力顯微鏡掃描器更加高速。Z型掃描范圍搭配遠程Z掃描器(選配)可延長12μm至25μm。

滑動連接的超亮二極管頭

通過將原子力顯微鏡頭沿楔形軌道滑動，可輕松將其插入或取出。低相干的超發(fā)光二極管頭可實現(xiàn)高反射表面的精確成像和力一距離光譜的精確測量。超亮二極管頭的波長幫助減輕干擾問題，因此用戶在可見光譜實驗中也可使用本產(chǎn)品。

多樣品夾頭

特殊設計的多樣品夾頭，最多可承載16個獨立樣品，由多重采樣掃描器自動按順序掃描。特殊的夾頭設計為接觸樣品針尖預留了邊通道。

選配編碼器的XY自動樣品載臺

自動集成XY載臺可輕松并精確控制樣品的測量位置。XY樣品載臺的行程范圍可配置為150mmx150mm或200 m m x 200 m m。若搭配自動載臺使用編碼器，可提高樣品定位的精確度和重復性。編碼XY載臺工作時分辨率為1μm，重復率為2μm。編碼Z載臺的分辨率為0.1μm，重復率為1μm。

高分辨率數(shù)碼變焦感光元件攝像頭

高分辨率數(shù)碼感光元件攝像頭利用直接同軸光學，具備變焦功能，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。

垂直對齊的電動z載臺和聚焦載臺

Z載臺和聚焦載臺可將懸臂嚙合到樣品表面上，同時確保用戶視野清晰穩(wěn)定。聚焦載臺是由軟件控制自動運行的，因此滿足透明樣品及液態(tài)元件應用所需精度。

帶DSP控制芯片的Park XE控制電子元件

原子力顯微鏡發(fā)出的納米級信號將由高性能Park XE電子元件控制并處理。Park XE電子元件為低噪聲設計，配備高速處理單元，可成功實現(xiàn)真正非接觸TM模式，是納米級成像及電壓電流精準測量的理想選擇。

• 600 M H z、4800 M I PS速度的高性能處理單元
• 低噪聲設計，適合電壓電流精準測量
• 通用系統(tǒng)，各SPM技術均可得到應用
• 外部信號接入模塊，存取原子力顯微鏡輸入/輸出信號
• 最多16個數(shù)據(jù)成像
• 數(shù)據(jù)尺寸:4096 x 4096像素
• 16位ADC/DAC，速度達500 kHz
• TCP/IP連接，隔離計算機接出電噪

多重采樣TM掃描

通過全自動樣品載臺多重采樣掃描™允許用戶自行編程，通過自動化步進掃描實現(xiàn)多區(qū)域成像。流程如下:

• 記錄用戶定義的多個掃描位置
• 在處掃描位置成像
• 抬起懸臂
• 將自動樣品載臺移至下一個用戶定義坐標。
• 近針
• 重復掃描

記錄多個掃描位置十分簡單，您可以輸入樣品一樣品載臺坐標或使用兩個參考點校正樣品位置。該自動化功能可大大減少您在掃描過程中需要的繁瑣工作，提高效率。

高分辨率的直接同軸光學元件

用戶可直接俯視觀看樣品，操控樣品表面，從而很容易就能找到目標區(qū)域。

高分辨率數(shù)碼攝像頭具備變焦功能，無論是否搖攝均可確保圖像具有清晰的成像質(zhì)量。

探針和樣品更換簡便

的頭部設計讓您可輕易地從側(cè)面更換探針和樣品。通過安裝懸臂式探針夾頭中預先對齊的懸臂，您無需進行繁雜的激光校準工作。

快速精準的SLD光校準

憑借我們*的預校準懸臂架，懸臂在裝載時SLD光便已聚焦完畢。此外，作為行內(nèi)一家可以提供自上而下的同軸視角可以讓您輕松找到光點。

由于SLD光垂直照在懸臂上，您可通過旋轉(zhuǎn)兩個定位按鈕直觀地在X軸Y軸移動光點。這樣您可以在激光準直頁面中輕易找到SLD光并將其定位在PSPD上。此時您只需要微調(diào)以得到信號，便可開始獲取數(shù)據(jù)。