描述
全自動知識產(chǎn)品
沒有熱損傷，效率更高，顆粒度更細(xì)，更適合高分辨電鏡
應(yīng)用領(lǐng)域
- 高分辨掃描電鏡樣品制備（實(shí)際放大倍數(shù)≥100K）
- 電極制備-可制備各種金屬電極、ITO電極
設(shè)備配置與技術(shù)參數(shù)
| 名稱&型號 | 高真空磁控離子濺射儀GVC-2000T |
| 真空系統(tǒng) | 渦輪分子泵（進(jìn)口 ）：德國萊寶90i （單磁懸浮分子泵，抽速為90L/s） 旋片式真空泵：浙江飛越VRD-4 （抽速為 1 .1L/s） |
| 真空測量 | 全量程復(fù)合真空規(guī)（進(jìn)口）：1.0E5Pa-1E-4Pa |
| 系統(tǒng)極限真空 | ≤5E-3Pa |
| 濺射電源 | 磁控濺射電源,功率150W |
| 可用靶材 | 所有金屬靶材，ITO靶材 |
| 濺射電壓 | 300-600V,根據(jù)選擇靶材、控制參數(shù)不同而變化 |
| 濺射電流 | 0-200mA連續(xù)可調(diào),步長5mA |
| 濺射時間 | 0-9999s, 連續(xù)可調(diào)步長1s |
| 操作界面 | 7英寸TFT彩色液晶觸摸屏,分辨率800×480 |
| 操作方式 | 一鍵操作 |
| 抽氣節(jié)拍 | ＜15分鐘 |
| 控制方式 | 只需設(shè)定濺射電流和時間即可，全自動控制 具備預(yù)濺射擋板（預(yù)濺射時間可設(shè)定),全自動控制 |
| 保護(hù)功能 | 軟硬件互鎖、防止誤操作，具備電流、真空保護(hù)等 |
| 樣品臺直徑 | φ125mm，可自轉(zhuǎn)，可自動手動控制，轉(zhuǎn)速4-40rpm可調(diào) |
| 真空室 | 高硅硼玻璃，規(guī)格尺寸約φ200×130mm |
| 電源供電 | 220V 50Hz 功率800W |
| 尺寸&重量 | 重量 424（長) ×345（深) ×420mm（高）、 25 kg （凈重) |
| 冷卻方式 | 內(nèi)部風(fēng)冷 |
| 選配 | 樣品臺選擇、膜厚控制、溫度監(jiān)測等 |
鍍膜樣品示例：
靶材-銀 靶材-鎢 靶材-鉻
靶材-鎳 靶材-釩 靶材-錫
靶材-銅 靶材-鉭 靶材-貼
靶材-鈦 靶材-鉛 靶材-鉬
靶材-鋁 靶材-鉑 靶材-金
靶材-鋯 靶材-鉺 靶材-ITO
