三維磁場探針臺
產品概述：
錦正茂三維磁場探針臺北京錦正茂科技有限公司提供的一維 、二維 、三維磁場探針臺，采用無磁材料制成，一維 、二維 、三維三對亥姆霍茲線圈正交放置，產生空間一維 、二維 、三維磁場。線圈可采用風冷（磁場較小）也可采用水冷結構（磁場較大），并且配備有線圈過熱保護裝置。和錦正茂生產的高精度雙極性直流電源配合使用可以長時間穩(wěn)定工作。通過軟件或者電源控制面板上按鍵控制每一維上的輸出電流，可以產生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等。
應用范圍：錦正茂三維磁場探針臺 廣泛應用于半導體工業(yè)、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫(yī)學等領域。三維探針臺和錦正茂自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場合成。
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝裝置
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉接頭
t 真空泵
技術指標：
| 三維磁場探針臺 | |||
| 型號 | T8-500-3 | T8-300-3 | T8-100-3 |
| 材質 | 所選材料均為無磁材質 | ||
| 磁場范圍 | 500Gs | 300Gs | 100GS |
| 線圈材質 | 耐高溫漆包線 | ||
| 磁場均勻性 | 中心區(qū)50毫米球體內1% | ||
| 電源穩(wěn)定性 | 三臺高精度直流電源 50ppm可選10ppm | ||
| 磁場分辨率 | 0.05 mT | ||
| 角度分辨率 | 0.02° | ||
| 樣品固定方式 | 吸盤或者壓片 | ||
| 樣品臺直徑 | 50mm可定制 | ||
| 顯微鏡 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光 | ||
| 放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | ||
| 探針臂數(shù)量 | 2、4可選 | ||
| 探針臂行程 | 25mm-25mm-12mm可更換 | ||
| 探針臂移動精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 | ||
| 探針長度 | 38mm | ||
| 探針直徑 | 0.51mm | ||
| 針尖直徑 | 10μm/5μm/1μm | ||
| 探針材料 | 鎢/鈹銅/GGB | ||
| 漏電精度 | 100fA | ||
| 顯微鏡 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm，可選加載激光 | ||
