1. 花崗石底座,機構(gòu)變形。
2. X、Y、Z軸裝有光柵尺,定位**。
5. MCINS手動版軟件。
MODEL | | VMS-2010F | | VMS-3020F | VMS-4030F | VMS-5040F |
(X/Y/Z軸)量測行程(mm) | | 200*100*150 | | 300*200*150 | 400*300*150 | 500*400*150 |
外形尺寸 | | 540x560x850 | | 760x600x900 | 970x670x940 | 970x770x940 |
機臺底座材料 | 高精度花崗石 | |||||
照明系統(tǒng) | 表面光源與透射光源均用LED,亮度可調(diào) | |||||
CCD | 高解析度日本索尼彩色CCD | |||||
X,Y軸量測精度 | (3+L/200)um | |||||
放大倍率 | Step Zoom光學放大率:0.7--4.5X,影像放大率:28--180X | |||||
光學尺解析度 | 1 um | |||||
重復性 | 2 um | |||||
操作方式 | 手動 | |||||
電源供給 | 110V/220V |