SEM主動隔振平臺
SEM Base LP是我們的標準SEM Base主動壓電振動消除平臺的定制低輪廓版本。SEM Base LP更易于安裝,性能好,并經(jīng)過人體工程學優(yōu)化。緊湊的設(shè)計便于安裝,無需使用SEM內(nèi)置調(diào)平腳以外的任何東西來提升掃描電子顯微鏡(SEM)柱。而且,一旦安裝,SEM在地板上方的高度不會增加。SEM Base LP采用了我們STACIS壓電技術(shù),具有與我們的行業(yè)標準SEM Base VI相同的振動消除性能。SEM Base LP包括腳輪,專門設(shè)計用于與許多Thermo Fisher Scientific(前FEI)工具集成。
SEM Base LP如何與工具底部框架集成的示例
SEM主動隔振平臺
兼容Thermo Fisher工具型號
SEM Base LP與許多Thermo Fisher Scientific型號兼容,包括:
? Apreo公司
? 阿奎洛斯
? 太陽神小型雙光束
? Nova納米SEM x50
? Quattro S系列
? Scios公司
? 特內(nèi)奧
? Verios G4公司
? Verios 460、460升
? Versa 3D
如果您的SEM/FIB未列出,請聯(lián)系TMC檢查兼容性。
SEM基礎(chǔ)優(yōu)勢
硬安裝技術(shù)–SEM底座與內(nèi)部SEM振動控制系統(tǒng)兼容,并積極緩解0.6 Hz開始的低頻地板振動。
主動慣性振動消除–SEM Base使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器實現(xiàn)高水平的振動衰減,即使在安靜的地板上也是如此。
采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計–串行設(shè)計和專有的高壓壓電技術(shù)可實現(xiàn)從0.6 Hz到150 Hz的寬有源帶寬和慣性主動振動消除,從2 Hz開始減少90%。