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SEM-base VI SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)

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  • 型號(hào)SEM-baseVI
  • 品牌其他品牌
  • 所在地上海市
  • 更新時(shí)間2024-04-23
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 入駐年限5
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量558
  • 人氣值190958
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       上海倍藍(lán)光電科技有限公司成立于2012年,是一家年輕而又富有生命力的公司,公司負(fù)責(zé)人于立民擁有中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室光學(xué)專業(yè)碩士學(xué)位,同時(shí)擁有中國(guó)科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所航天遙感室物理電子學(xué)專業(yè)博士學(xué)位。曾就職于Labsphere Inc.(藍(lán)菲光學(xué))公司擔(dān)任該公司亞太區(qū)技術(shù)總監(jiān),負(fù)責(zé)亞洲區(qū)域內(nèi)客戶解決方案的制定及技術(shù)支持。在供職期間,主導(dǎo)并設(shè)計(jì)了多項(xiàng)難度大、技術(shù)復(fù)雜的定制項(xiàng)目,如大口徑空間相機(jī)輻射定標(biāo)系統(tǒng)、弱光紫外空間相機(jī)輻射定標(biāo)系統(tǒng)、單波長(zhǎng)可調(diào)諧均勻光源系統(tǒng)、高精度多光譜輻亮度標(biāo)定系統(tǒng)(輻照度標(biāo)準(zhǔn)燈-漫反射板系統(tǒng))、醫(yī)用內(nèi)窺鏡檢測(cè)系統(tǒng)(依據(jù)YY0068.1-2008)、顯示器ACR(環(huán)境對(duì)比度)測(cè)量系統(tǒng)等多個(gè)高難度、高復(fù)雜度的定制系統(tǒng)。后帶領(lǐng)一支具有豐富的儀器設(shè)備開發(fā)、使用維護(hù)經(jīng)驗(yàn)的工程師和商務(wù)人員成立倍藍(lán)光電科技有限公司。
    公司專注于光電領(lǐng)域儀器設(shè)備的定制開發(fā)、代理銷售與系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)包括儀器設(shè)備的維修和周邊產(chǎn)品的銷售,為國(guó)內(nèi)科研及制造業(yè)用戶提供全面的服務(wù)。公司致力于引進(jìn)上先進(jìn)的產(chǎn)品、先進(jìn)的技術(shù)完善定制服務(wù),向客戶提供完善的服務(wù)、完善的產(chǎn)品、完善的售后服務(wù)。幫助客戶解決在科研、生產(chǎn)中遇到的問題。
    公司在代理和銷售光電設(shè)備的同時(shí)并提供基于各種光電設(shè)備的拓展應(yīng)用和OEM研發(fā)。我們?cè)诠怆娦袠I(yè)有著多年的工作經(jīng)驗(yàn)和實(shí)際操作方案,積累了大量的應(yīng)用和研發(fā)實(shí)例,為客戶提供一站式的解決方案。

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SEM主動(dòng)隔振平臺(tái),是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和**圖形用戶界面(GUI)。
SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 產(chǎn)品詳情

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)

SEM-Base® VI是下一代STACIS主動(dòng)壓電消振產(chǎn)品。SEM-Base VI被設(shè)計(jì)用于支撐所有商用掃描電子顯微鏡(SEM)以及許多聚焦離子束(FIB)和小型雙光束儀器。SEM-Base VI具有更好的隔振性能、更快、更強(qiáng)大的控制器和**圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI使許多實(shí)驗(yàn)室和設(shè)施達(dá)到了滿足工具制造商規(guī)格所需的地面振動(dòng)水平。 

<strong>SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)</strong>SEM-base VI(圖1)

 

SEM-Base VI采用“串行結(jié)構(gòu)”,其中的振動(dòng)傳感器測(cè)量地面振動(dòng),而不是有效載荷振動(dòng)。與其他設(shè)計(jì)不同,這確保了有效載荷共振不會(huì)限制隔振或造成不穩(wěn)定。振動(dòng)傳感器是低頻慣性速度傳感器,在難以測(cè)量的亞Hz范圍內(nèi)具有**靈敏度。結(jié)合壓電致動(dòng)器技術(shù),SEM-Base VI即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)高的消振水平。 

 

SEM-Base VI可提供與以前型號(hào)平均高6 dB的隔振。此外,TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器,為工具所有者和研究人員提供了一個(gè)非常簡(jiǎn)單易用的圖形界面,可實(shí)現(xiàn)快速系統(tǒng)評(píng)估和安全操作。通過以太網(wǎng)連接時(shí),DC-2020將在用戶的瀏覽器中創(chuàng)建SEM-Base GUI,無需安裝其他軟件或應(yīng)用程序。此外,用戶也可以通過板載菜單驅(qū)動(dòng)的液晶顯示器(LCD)與控制器連接。

 

注意:請(qǐng)參見SEM-Closure,這是一種專為保護(hù)SEM而設(shè)計(jì)的整體環(huán)境解決方案。它可以將SEM-Base和Mag-NetX® 固定在一個(gè)密封和溫控聲學(xué)室中 - 從而保護(hù)SEM免受振動(dòng)、磁場(chǎng)干擾和聲學(xué)噪聲的影響。

 

SEM-Base VI的優(yōu)勢(shì)

硬安裝技術(shù) - SEM-Base VI與所有內(nèi)部SEM振動(dòng)控制系統(tǒng)兼容,可以從0.6 Hz開始主動(dòng)減輕低頻地面振動(dòng)。

主動(dòng)慣性振動(dòng)消除 - SEM-Base VI使用高靈敏度、低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也能實(shí)現(xiàn)高水平的振動(dòng)衰減。 

采用壓電技術(shù)的串行設(shè)計(jì) - 串行設(shè)計(jì)和專有的高力壓電技術(shù)可實(shí)現(xiàn)0.6 Hz***150 Hz的寬主動(dòng)帶寬和從2 Hz開始減振90%的**慣性主動(dòng)振動(dòng)消除性能。

集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì) - SEM-Base VI設(shè)計(jì)與制造的集成化,將安裝平臺(tái)的工作簡(jiǎn)化到了**,簡(jiǎn)單的定位與設(shè)置之后即可正常工作。

NOTE:可選SEM-Closure,專門設(shè)計(jì)用于保護(hù)SEM的完整環(huán)境解決方案。在SEM- Closure密封隔音室內(nèi)可兼顧放置 SEM-Base VI與Mag-Net X,保護(hù)SEM免除振動(dòng)、磁場(chǎng)擾動(dòng)與聲波噪音的影響。

 

SEM主動(dòng)隔振平臺(tái) 產(chǎn)品特點(diǎn)

? STACIS**技術(shù)

? 主動(dòng)慣性振動(dòng)清除系統(tǒng)

? 895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)適合絕大多數(shù)商業(yè)SEM

? 負(fù)載能力:408-1134kg (900-2500 lb.)

? 隔振效率1Hz:40-70% 

? 隔振效率經(jīng)2Hi:90% 

? 隔振效率>3Hz:90-98%

? 6個(gè)主動(dòng)自由度

? 安裝容易,調(diào)試簡(jiǎn)單

? 兼容所有設(shè)備內(nèi)直的振動(dòng)隔離系統(tǒng)

? 電源:100-240VAC, 50/60Hz, <600W

? 是否需要空氣:非氣浮系統(tǒng)

? CE與RoHS認(rèn)證

? 集成式的單平臺(tái)設(shè)計(jì)

? 可安裝腳輪,輕松便攜移動(dòng),無需搬運(yùn)

? 兼容SEM-lift系統(tǒng)

 

規(guī)格

性能規(guī)格

主動(dòng)自由度

6

主動(dòng)帶寬

0.6 Hz - 100 Hz

被動(dòng)固有頻率

標(biāo)稱值為12 Hz

有效的主動(dòng)共振頻率

0.5 Hz

1 Hz時(shí)的隔振

40% - 70%

2 Hz時(shí)的隔振

90%

≥3 Hz時(shí)的隔振

90 - 98%

內(nèi)部噪音

<0.1 nm RMSd>

工作負(fù)載范圍

標(biāo)準(zhǔn)承重能力:900 - 2,500磅(408 - 1134千克)
高承重能力:2,500 - 3,200磅(1134 - 1452千克)

磁場(chǎng)發(fā)射4英寸(102毫米)處距離平臺(tái)

<0.02 μG broadband RMSd>

 

設(shè)計(jì)、尺寸、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全

符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)

主動(dòng)隔振元件

**小承重能力為3300磅(1500千克)的壓電致動(dòng)器接收來自高壓放大器的信號(hào),其輸出高達(dá)800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷

被動(dòng)隔振元件

單個(gè)硬彈性體(無需壓縮空氣源)

振動(dòng)傳感器元件

向下的地震檢波器型慣性傳感器,用于
測(cè)量隔振器下方的地面振動(dòng),并
提供與振動(dòng)運(yùn)動(dòng)速度成正比的電壓

主動(dòng)反饋控制回路

在支撐隔振表面的彈簧
下方測(cè)量、處理和
支撐隔離面

尺寸(寬 x 深)

35.25 x 44.25英寸
895 x 1124毫米

高度

標(biāo)稱6.3英寸(160毫米),
SEM-Base關(guān)閉時(shí)不會(huì)改變

工作溫度

50° - 90° F
10° - 32° C

儲(chǔ)存溫度

-40° - 130° F
-40° - 55° C

濕度

30 - 60%

系統(tǒng)電源要求

100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC; <600 W
符合CE標(biāo)準(zhǔn)

地面位移

<800 μin. (20 μm) below 10 Hzd>

 

內(nèi)置控制器規(guī)格

處理器

150/75 MHz雙核

采樣率

10 kHz

模擬輸出

16個(gè)通道

模擬輸入

16個(gè)通道

狀態(tài)燈

單個(gè)LED

前面板端口

1個(gè)串行USB 2.0
1個(gè)串行Micro-USB
1個(gè)以太網(wǎng)RJ-45
2個(gè)BNC

用戶界面

前面板液晶顯示屏
超級(jí)終端上的字符菜單
適用于Microsoft Windows的擴(kuò)展GUI
嵌入式以太網(wǎng)GUI

<strong>SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)</strong>SEM-base VI(圖2)

性能

<strong>SEM主動(dòng)隔振平臺(tái)</strong>SEM-base VI(圖3)
使用VC-C(500 μ英寸/秒,12.5 μ米/秒 RMS)的模擬振動(dòng)來測(cè)試1800磅(818千克)有效載荷


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