日立掃描電子顯微鏡SU1510
產(chǎn)品介紹:
采用精巧化設(shè)計,比同類設(shè)備分辨率和配置相同情況下,體積縮減20%,節(jié)約空間,標配二次電子和背散射探測器,便于形貌和襯度的同時觀察,具有日立鎢燈絲電鏡通有的四偏壓、四孔光闌、高分辨背散射、長襯管等設(shè)計。
主機寬度僅為55cm,體型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。
日立掃描電子顯微鏡SU1510主要特點:
1、儀器主體比過去減小20%,可以更加自由地選擇安裝場地。
2、標配低真空功能,可以對不導電進行無噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。
3、樣品臺可載入zui大直徑153mm,高度為60mm(WD=15mm)的樣品,并進行EDX分析。
4、強大的鼠標控制功能,可實現(xiàn)電鏡的所有操作。
5、分子泵真空系統(tǒng),潔凈無污染。
技術(shù)參數(shù) :
二次電子分辨率 | 3.0nm(高真空,30kV) |
背散射電子分辨率 | 4.0nm(低真空:60Pa,30kV) |
倍率 | 5 ~ 300,000倍 |
加速電壓 | 0.3~30 kV |
樣品臺 | X 0~80mm Y 0~40mm Z 5~50mm T -20~80mm R 360° |
樣平臺控制 | 手動(可選:2軸馬達) |
zui大載入樣品尺寸 | 直徑:153mm |
zui大觀察范圍 | 直徑:126mm(XYR并用) |
zui大樣品高度 | 60mm (WD=15mm) |
低真空范圍 | 6-270Pa(從菜單設(shè)定) |
燈絲 | 預對中鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可變光闌 |
槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動偏壓、自動4偏壓 |
檢測器 | 二次電子檢測器,高靈敏度半導體背散射電子檢測器 |
EDX分析位置 | WD=15mm,TOA=35° |
真空系統(tǒng) | 分子泵1臺,機械泵1臺 |
安全措施 | 停電,漏電,自動保護 |
應(yīng)用領(lǐng)域:
半導體
生物
高分子