產(chǎn)品優(yōu)勢
● 由于其 5 種手動(dòng)、電動(dòng)氣動(dòng)操作的進(jìn)氣口選擇,使得它在壓力高達(dá) 50 hPa 壓下為分析、監(jiān)測和控制過程提供了很大的靈活性
● 通過各種數(shù)字和模擬輸入和輸出,使系統(tǒng)集成方便而靈活
● 多重操作允許多個(gè)質(zhì)譜儀 系統(tǒng)只用一臺(tái)電腦進(jìn)行數(shù)據(jù)評估
● 緊湊的尺寸實(shí)現(xiàn)靈活的集成
典型應(yīng)用
● 在 1 · 10-7 至 50 hPa 的壓力范圍內(nèi)進(jìn)行真空工藝的分析、監(jiān)測和控制
● 真空鍍膜系統(tǒng)的制造商和操作員
● 半導(dǎo)體生產(chǎn)
● 光刻
● 冶金
● 真空爐
● 研發(fā)