美國 Sula SULA SD10 深能級瞬態(tài)譜儀(DLTS)介紹
（銷售經(jīng)理：蔡添志 Leo.Cai）
深能級瞬態(tài)譜儀是半導(dǎo)體領(lǐng)域研究和檢測半導(dǎo)體雜質(zhì)、缺陷深能級、界面態(tài)等的重要技術(shù)手段！測試功能：電容模式、定電容模式、電流模式、（雙關(guān)聯(lián)模式）、Zerbst模式、光激發(fā)模式、FET分析、MOS分析、等溫瞬態(tài)譜、Trap profiling、俘獲截面測量、I/V,I/V(T) 查理森Plot分析、C/V, C/V(T) 、TSC/TSCAP 、光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜、DLOS；
測試根據(jù)半導(dǎo)體P-N結(jié)、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容（△C~t）技術(shù)和深能級瞬態(tài)譜的發(fā)射率窗技術(shù)測量出的深能級瞬態(tài)譜，是一種具有很高檢測靈敏度的實(shí)驗(yàn)方法，能檢測半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級及界面態(tài)。通過對樣品的溫度掃描，給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級及界面態(tài)隨溫度（即能量）分布的DLTS譜，集成多種全自動的測量模式及全面的數(shù)據(jù)分析，可以確定雜質(zhì)的類型、含量以及隨深度的分布。
也可用于光伏太陽能電池領(lǐng)域中，分析少子壽命和轉(zhuǎn)化效率衰減的關(guān)鍵性雜質(zhì)元素和雜質(zhì)元素的晶格占位，確定是何種摻雜元素和何種元素占位影響少子壽命。
| 技術(shù)參數(shù): - 脈沖發(fā)生器 電壓范圍： ±20.4 V (±102 V opt.) 脈沖寬度：1 µs - 1000 s - 電容測量 高頻信號100 mV @ 1 MHz (20 mV 可選) 電容范圍 [pF] 3, 30, 3000 3000 靈敏度 0.01 fF - 電壓測量： 范圍 ±10 V 靈敏度 < 1 µV
溫度范圍：77K~450K 電阻范圍：0.1 mOhm - 10 GOhm
儀器特點(diǎn): 自動連線檢測； 自動電容補(bǔ)償功能； 瞬態(tài)電流測量； 傅里葉轉(zhuǎn)化功能； 深能級瞬態(tài)譜分析； |
