微探針平臺可用于研究材料在不同溫度下的電學及光學性質, 典型的應用包含深能級瞬態(tài)譜,IC,MEMS, 紅外探測器,顯微操作等
主要參數(shù):
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探針類型:鎢探針或光纖
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可控探針數(shù):2~7
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探針移動范圍:25 mm x 25 mm x 6 mm
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定位精度:50um
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溫度:70~730K;80~580K;70~580K;80~730K;室溫~730K(可選)
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溫度穩(wěn)定度:<=0.05K
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溫度響應:1K/sec
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致冷片:10X14 mm