· 2.低觸力：0.03至15mg
· 3.視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像頭
· 4.梯形失真校正：消除側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)引起的失真
· 5.圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差
· 6.緊湊尺寸：最小占地面積的臺式探針式輪廓儀
· 7.軟件：用戶友好的軟件界面
主要應(yīng)用
· 1.臺階高度：2D臺階高度和3D臺階高度
· 2.紋理：2D粗糙度和波紋度
· 3.形式：2D翹曲和形狀
· 4.應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
· 1.大學(xué)，研究實驗室和研究所
· 2.半導(dǎo)體和復(fù)合半導(dǎo)體
· 3.SIMS：二次離子質(zhì)譜
· 4.LED：發(fā)光二極管
· 5.太陽能
· 6.MEMS：微電子機械系統(tǒng)
· 7.汽車
· 8.醫(yī)療設(shè)備
· 還有更多：請與我們聯(lián)系并探討您的要求
臺階高度
Alpha-Step D-600探針式輪廓儀能夠測量從幾個納米到1200μm的2D和3D臺階高度。 這使其可以量化在蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。 Alpha-Step系列具有低觸力功能，可以測量如光刻膠的軟性材料。.
紋理：粗糙度和波紋度
Alpha-Step D-600測量2D和3D紋理，量化樣品的粗糙度和波紋度。 軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計算諸如均方根（RMS）粗糙度之類的參數(shù)。
形式：翹曲和形狀
Alpha-Step D-600可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。 Alpha-Step還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。
應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力
Alpha-Step D-600能夠測量在生產(chǎn)包含多個工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計算應(yīng)力。
