大面積掃描開爾文探針系統(tǒng)特色:
- 電動控制開爾文探針與樣品的距離
- 電動控制樣品XY移動范圍150 mm x 150 mm
- 具有編碼器的主動定位定位追蹤系統(tǒng)
- Z方向步進(jìn)大小: 625 nm
- X - and Y-方向: 5 µm / microstep
- 功函分辨率:: < 1 meV with 1.4 mm tip diameter on metals
- 最小的探針直徑: 0.1 mm
- 集成法拉第防護(hù)功能
- 框架表面鍍金
- 開爾文探針頭采用純金工藝
- 外形尺寸: 50 cm (W) x 60 cm (D) x 25 cm (H)
- 樣品尺寸: 150 mm x 150 mm
- 真空樣品吸盤
- 包含參考樣品標(biāo)準(zhǔn): HOPG, Au on Si, Al/Au-edge, Potential Check
- 可選配溫度和濕度傳感器