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薄膜應(yīng)力儀,應(yīng)力檢測(cè)儀,3DMapping

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2022-08-17
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值438
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??岱美有限公司成立于1989年,是數(shù)據(jù)存儲(chǔ),半導(dǎo)體,光學(xué),光伏和航空航天行業(yè)制造商和創(chuàng)新研發(fā)機(jī)構(gòu)的*設(shè)備分銷商。??在21世紀(jì)初期,岱美已從我們?cè)谥袊?guó)香港的總部擴(kuò)展到亞洲,以滿足客戶的多樣化需求。在當(dāng)今化的市場(chǎng)中,我們的客戶包括連接?xùn)|南亞各國(guó)的綜合供應(yīng)鏈,我們的專業(yè)人員隨時(shí)準(zhǔn)備與他們會(huì)面。??我們的總部設(shè)在中國(guó)香港,在中國(guó)大陸地區(qū)(北京和上海,以及廣東東莞)擁有強(qiáng)大的業(yè)務(wù)。我們還在馬來西亞,新加坡,中國(guó)臺(tái)灣地區(qū),菲律賓和泰國(guó)等東南亞國(guó) 家和地區(qū)設(shè)有分支機(jī)構(gòu)。岱美擁有訓(xùn)練有素的工程師,能夠?yàn)楦鞯貐^(qū)用戶提供快捷、可靠的技術(shù)支持和維修服務(wù);為確保他們的專業(yè)知識(shí)得以更新及并適應(yīng)新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專項(xiàng)技術(shù)訓(xùn)練,務(wù)求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務(wù)及技術(shù)支持。我們的分支機(jī)構(gòu)都已建立數(shù)十年,我們的許多客戶對(duì)我們與他們建立的長(zhǎng)達(dá)數(shù)十年的合作關(guān)系感到滿意。??我們的目標(biāo)是建立持久的關(guān)系,滿足東南亞企業(yè)快速增長(zhǎng)的需求。對(duì)于我們的客戶,我們不僅提供設(shè)備,還提供建議和技術(shù)指導(dǎo),以及時(shí)了解我們不斷發(fā)展的行業(yè)的發(fā)展。對(duì)于我們的供應(yīng)商,我們提供了深入的銷售網(wǎng)絡(luò)和數(shù)十年的東南亞復(fù)雜商業(yè)環(huán)境導(dǎo)航經(jīng)驗(yàn)。我們將本地客戶與來自歐洲,美國(guó),日本和韓國(guó)的*設(shè)備與技術(shù)連接起來。岱美合作客戶??岱美在中國(guó)大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品:??晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗機(jī)、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測(cè)、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x、薄膜厚度檢測(cè)儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測(cè)儀、電容式位移傳感器等。??如有需要,請(qǐng)聯(lián)系我們,了解我們?nèi)绾伍_始與您之間的合作,實(shí)現(xiàn)您的企業(yè)或者組織機(jī)構(gòu)長(zhǎng)期發(fā)展的目標(biāo)。注:在大陸地區(qū)注冊(cè)的公司名稱為:岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司,并有東莞分公司和北京辦事處。
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:美國(guó)FrontierSemiconductor(FSM)成立于1988年
薄膜應(yīng)力儀,應(yīng)力檢測(cè)儀,3DMapping 產(chǎn)品詳情

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

美國(guó)Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年,總部位于圣何塞,多年來為半導(dǎo)體行業(yè)等高新行業(yè)提供各式精密的測(cè)量設(shè)備,客戶遍布,主要產(chǎn)品包括:光學(xué)測(cè)量設(shè)備: 三維輪廓儀、拉曼光譜、 薄膜應(yīng)力測(cè)量設(shè)備、 紅外干涉厚度測(cè)量設(shè)備、電學(xué)測(cè)量設(shè)備:高溫四探針測(cè)量設(shè)備、非接觸式片電阻及漏電流測(cè)量設(shè)備、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析 (EOT)

FSM128薄膜應(yīng)力及基底翹曲測(cè)試設(shè)備

image002.png

在襯底鍍上薄膜后, 因?yàn)閮烧卟馁|(zhì)不一樣, 所以會(huì)引起應(yīng)力. 如應(yīng)力太大會(huì)引起薄膜脫落,最終引致組件失效或可靠性不佳的問題. 薄膜應(yīng)力激光測(cè)量?jī)x利用激光測(cè)量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’sEquation計(jì)算出應(yīng)力, 是品檢及改進(jìn)工藝的有效手段。


° 快速、非接觸式測(cè)量

° 樣品臺(tái)可通用于3至8寸晶圓

128L型號(hào)適用于12寸晶圓

128G 型號(hào)適用于470 X 370mm樣品,

另可按要求訂做

° 雙激光自動(dòng)轉(zhuǎn)換技術(shù) 

如某一波長(zhǎng)激光在樣本反射度不足,系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)使用 

另一波長(zhǎng)激光進(jìn)行掃瞄,滿足不同材料的應(yīng)用

° 全自動(dòng)平臺(tái),可以進(jìn)行2D及3D掃瞄(可選)

° 可加入更多功能滿足研發(fā)的需求

電介質(zhì)厚度測(cè)量

光致發(fā)光激振光譜分析

(III-V族的缺陷研究)

° 500 及 900°C高溫型號(hào)可選

° 樣品上有圖案亦適用

° 規(guī)格:

° 測(cè)量方式: 非接觸式(激光掃瞄)

° 樣本尺寸:

° FSM128 : 75mm to 200 mm

° FSM128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

° FSM128G: 550×650mm

° 掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/3D掃瞄(可選)

° 激光強(qiáng)度: 根據(jù)樣本反射度自動(dòng)調(diào)節(jié)

° 激光波長(zhǎng): 650nm及780nm自動(dòng)切換(其它波長(zhǎng)可選)

° 薄膜應(yīng)力范圍: 1 MPa — 1.4GPa

° (硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)

° 重復(fù)性: 1% (1 sigma)*

° 準(zhǔn)確度:< 2.5%*

° *使用20米半徑球面鏡

° 設(shè)備尺寸及重量:

° FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 270 lbs

° FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 280 lbs

° FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 400 lbs

° 電源 : 110V/220V, 20A

關(guān)鍵詞:輪廓儀 測(cè)量?jī)x
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