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Denton 等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積 PE-CVD

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地深圳市
  • 更新時(shí)間2022-08-03
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量230
  • 人氣值473
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深圳市科時(shí)達(dá)電子科技有限公司創(chuàng)建于2011年,經(jīng)過(guò)十年的發(fā)展,已經(jīng)成長(zhǎng)為一家專(zhuān)注于電子材料、半導(dǎo)體儀器設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備三大產(chǎn)品領(lǐng)域的,是一家集研發(fā)、制造、銷(xiāo)售為一體的企業(yè)。我們的主營(yíng)業(yè)務(wù)涉及了研發(fā)銷(xiāo)售及加工電子材料及周邊產(chǎn)品;電子光電產(chǎn)品設(shè)備研發(fā)組裝及銷(xiāo)售,半導(dǎo)體儀器設(shè)備銷(xiāo)售;國(guó)內(nèi)貿(mào)易、貨物及技術(shù)進(jìn)出口;醫(yī)療器械研發(fā)及銷(xiāo)售;醫(yī)用耗材及醫(yī)療用品的銷(xiāo)售等??萍紕?chuàng)新是科時(shí)達(dá)公司的核心競(jìng)爭(zhēng)力。我們擁有一支高度專(zhuān)業(yè)化的技術(shù)研發(fā)和管理團(tuán)隊(duì),建立了國(guó)內(nèi)的實(shí)驗(yàn)室和光電研究中心,與多家科研機(jī)構(gòu)與大專(zhuān)院校開(kāi)展“產(chǎn)、學(xué)、研”合作,成功開(kāi)發(fā)出一系列具有高科技含量的市場(chǎng)產(chǎn)品,公司產(chǎn)品通國(guó)內(nèi)科研機(jī)構(gòu)的產(chǎn)品認(rèn)證。同時(shí),公司擁有電子信息領(lǐng)域相對(duì)完備的科技創(chuàng)新體系,在電子裝備、醫(yī)療設(shè)備、產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、網(wǎng)絡(luò)安全等領(lǐng)域占據(jù)技術(shù)主導(dǎo)地位,肩負(fù)著支撐科技自立自強(qiáng)、推進(jìn)國(guó)內(nèi)科技現(xiàn)代化、加快數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展、服務(wù)社會(huì)民生的重要職責(zé)。聚焦“三大定位”主責(zé),科時(shí)達(dá)公司按照“做優(yōu)電子裝備、做大儀器設(shè)備、做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)、做強(qiáng)研發(fā)銷(xiāo)售”的總體布局,持續(xù)優(yōu)化核心業(yè)務(wù)體系,推動(dòng)企業(yè)在科技現(xiàn)代化建設(shè)、現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)的核心關(guān)鍵技術(shù)節(jié)點(diǎn)上“布點(diǎn)”,在產(chǎn)業(yè)鏈價(jià)值鏈創(chuàng)新鏈關(guān)鍵環(huán)節(jié)上“成線”,在關(guān)系國(guó)家、國(guó)民經(jīng)濟(jì)命脈和國(guó)計(jì)民生關(guān)鍵領(lǐng)域上“控面”。做強(qiáng)電子裝備,重點(diǎn)發(fā)展利用聲、光、電磁信號(hào)進(jìn)行信息感知、傳輸、運(yùn)用等的系統(tǒng)級(jí)裝備和產(chǎn)品,打造全域多維一體新一代電子裝備,不斷夯實(shí)在高??蒲蓄I(lǐng)域和高科枝企業(yè)的提供地位。做大儀器設(shè)備,重點(diǎn)發(fā)展半導(dǎo)體儀器基礎(chǔ)設(shè)施和醫(yī)療設(shè)備應(yīng)用與整體解決方案,全面支撐基于網(wǎng)絡(luò)信息體系的聯(lián)合和全域能力提升、國(guó)家治理能力提升和數(shù)字化發(fā)展。做精產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ),重點(diǎn)打造形成電子基礎(chǔ)產(chǎn)品科研和生產(chǎn)的基礎(chǔ)支撐能力,以夯實(shí)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控能力為根本目標(biāo),推動(dòng)以“科時(shí)達(dá)基因”為核心的銷(xiāo)售集群式發(fā)展。做強(qiáng)研發(fā)銷(xiāo)售,致力于電子產(chǎn)品的研發(fā)。科時(shí)達(dá)公司是一家,多年來(lái)公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)致力于電子材料、半導(dǎo)體儀器和醫(yī)療設(shè)備的研發(fā)。同時(shí)企業(yè)還致力于將產(chǎn)品做好國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)銷(xiāo)售,在整體銷(xiāo)售模式中具備一套完整的銷(xiāo)售體系。以客戶需求為導(dǎo)向,以質(zhì)量求生存,科時(shí)達(dá)公司以超凡的品質(zhì)和優(yōu)良的服務(wù),獲得國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的一致認(rèn)可;公司營(yíng)銷(xiāo)網(wǎng)絡(luò)覆蓋,產(chǎn)品世界各地,目前已經(jīng)成為國(guó)內(nèi)電子科技行業(yè)中重要的生產(chǎn)制造基地。
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PE-CVD解決方案與典型CVD反應(yīng)器相比,等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PE-CVD)提供了一種可使用更低溫度沉積各種薄膜的有效替代方案,同時(shí)不會(huì)降低薄膜質(zhì)量。高質(zhì)量的二氧化硅(SiO2)膜可以在300℃至350℃沉積,而CVD需要650℃至850℃的溫度生產(chǎn)類(lèi)似質(zhì)量的鍍膜。PE-CVD使用電能產(chǎn)生輝光放電(等離子體),其中能量轉(zhuǎn)移到氣體混合物中。
Denton 等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積 PE-CVD 產(chǎn)品詳情



Denton  等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積 PE-CVD (圖1)

PE-CVD解決方案

與典型CVD反應(yīng)器相比,等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PE-CVD)提供了一種可使用更低溫度沉積各種薄膜的有效替代方案,同時(shí)不會(huì)降低薄膜質(zhì)量。高質(zhì)量的二氧化硅(SiO2)膜可以在300℃至350℃沉積,而CVD需要650℃至850℃的溫度生產(chǎn)類(lèi)似質(zhì)量的鍍膜。

PE-CVD使用電能產(chǎn)生輝光放電(等離子體),其中能量轉(zhuǎn)移到氣體混合物中。這將氣體混合物轉(zhuǎn)化成反應(yīng)性自由基、離子、中性原子和分子,以及其他高活性物質(zhì)。在PE-CVD中,氣相和表面反應(yīng)受到等離子體性質(zhì)的強(qiáng)烈控制。代替熱活化,氣體混合物的電子碰撞電離驅(qū)動(dòng)氣相反應(yīng),能夠在比常規(guī)CVD工藝低得多的溫度下進(jìn)行沉積。 對(duì)于PE-CVD,沉積速率通常不是基片溫度的強(qiáng)函數(shù),表面活化能通常很小。然而,薄膜性質(zhì),例如,組成、應(yīng)力和形態(tài),通常是基片溫度的強(qiáng)函數(shù)。

等離子體增強(qiáng)CVD的優(yōu)點(diǎn)

PE-CVD鍍膜的一些理想性能包括,良好的粘附性、低針孔密度、良好的保形性,以及平面和三維表面上的均勻性。 PE-CVD的實(shí)用性和靈活性在于,其能夠在從硅片到汽車(chē)部件的各種基材上沉積高質(zhì)量的鍍膜。此外,等離子體增強(qiáng)CVD系統(tǒng)比常規(guī)CVD提供更低的擁有成本。

丹頓真空公司專(zhuān)門(mén)從事等離子增強(qiáng)CVD (PE-CVD),沉積類(lèi)金剛石(DLC)鍍膜。DLC鍍膜是一類(lèi)無(wú)定形碳膜,表現(xiàn)出與金剛石相似的性能,例如,硬度、抗刮擦性和高導(dǎo)熱性。此外,DLC鍍膜由于其生物相容性、紅外透明性和電絕緣性能,在商業(yè)方面價(jià)值。丹頓公司已經(jīng)開(kāi)發(fā)專(zhuān)有的能力,擴(kuò)展DLC的特性范圍,包括抗指紋和疏水性。

我們的 Voyager PE-CVD解決方案提供低溫濺射,具有高度均勻性


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