M-Spin 200勻膠旋涂?jī)x是用于均勻涂覆和干燥晶圓片或襯底。該勻膠旋涂?jī)x適用于直徑為8英寸的晶圓片,或?yàn)?span style="font-family: Times New Roman;">6英寸 x 6英寸的襯底。它可使用分配臂全自動(dòng)工作,分配移動(dòng)托盤(pán),可定義數(shù)量。該勻膠旋涂?jī)x配備了頂蓋的聯(lián)鎖機(jī)制,和可視化全圖形觸摸面板。M-Spin 200勻膠旋涂?jī)x包含一個(gè)內(nèi)置模塊,該模塊連接到柔性電纜,外接到一個(gè)19英寸外部控件上。