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B90003125 BGV 氣動(dòng)真空插板閥 ISO80

參考價(jià)
面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)B90003125
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2022-07-31
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 入駐年限1
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量672
  • 人氣值755
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BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成,用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計(jì)的,可以使泵在前級(jí)管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行,從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的泵具有高的性和正常運(yùn)行時(shí)間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar()(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的壓力,并可承受閥
BGV 氣動(dòng)真空插板閥 ISO80 產(chǎn)品詳情

概述

BGV 地下室插板閥是一系列由不銹鋼制成,用波紋管密封的地下室隔離閥。它們是與 VAT 協(xié)作設(shè)計(jì)的,可以使泵在前級(jí)管線維護(hù)期間繼續(xù)運(yùn)行,從而使在嚴(yán)苛制程中運(yùn)行的泵具有高的性和正常運(yùn)行時(shí)間。BGV 閥適用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar()(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作壓力范圍。這種閥在任何方向都可以承受 1.2 bar 的壓力,并可承受閥密封兩側(cè) 1 bar 的差壓。

雖然 BGV 閥主要用于隔離半導(dǎo)體工廠地下室內(nèi)的泵,但這些閥也適用于開(kāi)啟時(shí)需要 1 bar 差壓并容許 20000 次循環(huán)的其他應(yīng)用場(chǎng)合。

功能和優(yōu)勢(shì)

  • 與密封 VAT 合作。
  • 不銹鋼結(jié)構(gòu),采用獲得的設(shè)計(jì),使用
  • 簡(jiǎn)單的無(wú)油脂機(jī)構(gòu)大程度減少了多塵制程中因微粒導(dǎo)致的損壞
  • 可以在 1 bar 差壓下運(yùn)行,因此無(wú)需進(jìn)行壓力平衡
  • 維修方便,只需要的易耗品,低運(yùn)行成本
  • 表面光滑,易于清潔
  • 提供時(shí)已安裝螺線管和電線,便于訂購(gòu)和安裝
  • 即插即用,在使用可選的 BGV TIM 接口電纜的情況下與 Edwards 半導(dǎo)體干泵兼容。

數(shù)據(jù)

泄漏值
  殼體< 1 x 10-9 mbar ls-1
  閥座< 1 x 10-7 mbar ls-1
壓力范圍1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara
插板上的壓差1.2 bar(在任一方向上)
打開(kāi)時(shí)的壓差1 bar
**檢修前的循環(huán)數(shù)5, 000
高工作溫度
  閥體120 °C
  手動(dòng)執(zhí)行器80 °C
  氣動(dòng)執(zhí)行器80 °C
  位置指示器60 °C
  螺線管閥50 °C
分子流電導(dǎo)
  NW50300 ls-1
  ISO63400 ls-1
  ISO801100 ls-1
  ISO1001700 ls-1
  ISO1604600 ls-1
重量
  NW503.3 kg (7.3 lbs)
  ISO636.6 kg (14.6 lbs)
  ISO807.0 kg (15.4 lbs)
  ISO1008.5 kg (18.7 lbs)
  ISO16017.7 kg (39.0 lbs)
構(gòu)造材料:
  殼體AISI 304 不銹鋼
  閥蓋黑色陽(yáng)極化鋁
  插板AISI 304 不銹鋼
  助滑器PEEK
  波紋管AISI 633 不銹鋼
  密封件氟橡膠
  插板固定螺釘A2 不銹鋼 Ni-teflon 鍍膜
  手柄強(qiáng)化聚酰胺
氣動(dòng)閥
螺線管閥額定值
  標(biāo)準(zhǔn)螺線管閥24V - 15%/+ 10%,直流/交流,2.4 W
位置指示器觸點(diǎn)額定值12 - 30 V 直流/交流,大 500 mA,大 10 W
氣動(dòng)供氣
  供應(yīng)壓力58 psig(4 bar 壓力表壓力,5 bar 壓力,5 x 10Pa)
  大供應(yīng)壓力100 psig(7 bar 壓力表壓力,8 bar 壓力,8 x 105 Pa)
氣動(dòng)接頭R1/8 英寸(閥的 1/8 英寸 NPT 在訂購(gòu))
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