安徽晶圓測試用氣體質(zhì)量流量控制器 Alicat CODA KCO 系列科里奧利質(zhì)量流量控制器專為精密超低流量和高壓應(yīng)用而定制。 CODA 質(zhì)量流量控制器與各種液體和氣體(包括許多腐蝕性物質(zhì))兼容,即使在高達(dá) 4000 PSIA 的壓力和低至 40 g/h 的流速的工況時,也能為您提供高精確度測量和控制。
組成獨立 - 即使流體成分發(fā)生變化或未知,科里奧利技術(shù)也能提供高精度讀數(shù)。
準(zhǔn)確性高 - NIST 可追溯精度達(dá)讀數(shù)的 ±0.6%,重復(fù)精度達(dá)讀數(shù)的 ±0.1%,適用于精度要求較低的應(yīng)用。
兼容性強 - 提供與各種腐蝕性氣體和液體兼容的接液材料。
抗干擾 - 對外部振動的固有阻力減輕了環(huán)境過程干擾。
設(shè)備規(guī)格和定制選項
配件||分開售賣
外接顯示屏
電氣連接電纜