微小流量高精度檢測系統(tǒng)氣體質(zhì)量流量控制器 響應式氣體流量控制,抑制壓力波動
性能的質(zhì)量流量控制器只需將流量保持在您的設定值。艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達到新的設定值,并保持該設定值,即使在壓力突然增加的情況下,亦如此。我們將根據(jù)您的應用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能,確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實現(xiàn)穩(wěn)定控制。
多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER™氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡中。
耐用。MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性,我們可為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級防護。
艾里卡特Alicat提供*的質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、壓力傳感器解決方案。
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微小流量高精度檢測系統(tǒng)氣體質(zhì)量流量控制器
型號變體
低壓損型號,最多60 psia(MCW系列)
高壓型號,160-320 psia(MCQ系列)
閥門內(nèi)置(確保與SEMI端口長度一致)型號(MCE系列)
配備氣動截止閥的型號,適合真空應用(MCV系列)
腐蝕性氣體型號(MCS系列,見下文)
性能選項
流量累加器
集成式電位計控制
高精度或自定義校準