Renishaw雷尼紹RESR系列圓光柵
雷尼紹RESR圓光柵具有*的性能。RESR刻劃精度達±0.5角秒、分辨率達0.004角秒,適用于精度要求*的測量場合。
頂部RESR圓光柵
RESR圓光柵是一種是在柱面上直接刻線的一體式不銹鋼圓光柵。20 μm柵距RESR與RGH20和RGH35讀數(shù)頭兼容,而40 μm柵距RESR與RGH34和RGH40讀數(shù)頭兼容。
刻劃精度達±0.5角秒,系統(tǒng)重復性達0.004角秒
提供多種直徑和刻線數(shù),可與一系列具有行業(yè)標準的控制器兼容(直徑從52 mm到550 mm,刻線數(shù)從4096到86 400)
具有專Li的錐面安裝方式極大地降低了安裝誤差,簡化了系統(tǒng)集成
10 mm x 10 mm小截面圓光柵
低質量與低轉動慣量的設計增強了動態(tài)性能
一體式不銹鋼圓光柵能夠抵御振動、機械和熱撞擊,以及熱負載
為了保證更高的加速度和減速度以及更快的恢復時間,還可提供轉動量極低的"B"截面圓光柵
參考零位(具有可重復的起始位置)由單獨的勵磁塊提供
20 μm柵距圓光柵與UHV兼容型RGH20F讀數(shù)頭兼容
升級為TONiC
頂部RGH20讀數(shù)頭的特性與優(yōu)點
讀數(shù)頭結構小巧,能夠提供具有行業(yè)標準的模擬和數(shù)字輸出
非接觸式設計提供高速、可靠的操作,摩擦和磨損均為零
讀數(shù)頭的LED安裝指示燈簡化了安裝過程
具有專li的光學濾波系統(tǒng)在大多數(shù)開放式光柵都不適用的條件下,仍具有優(yōu)異的信號穩(wěn)定性
REF接口提供自動增益控制 (AGC)、自動平衡控制 (ABC) 和自動偏移量控制 (AOC),極大降低了周期誤差 (<±50 nm)
參考零位提供可重復的起始位置,而限位開關則指示軸行程的終點
可提供超高真空兼容型RGH20F版本
技術規(guī)格
讀數(shù)頭尺寸
14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20) (H x L x W)
10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm (RGH20F)
9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm (RGH35)
輸出(分辨率)
RS422:5 μm、1 μm、0.5 μm、0.2 μm、0.1 μm、50 nm、20 nm(RGH20F)、10 nm(RGH20F)、5 nm(RGH20F)
模擬:1 Vpp
細分
RGH20 — 內置細分電路達50 nm
RGH20F — REF接口(x4至x4 000)(可獲得從x4至x4096的二進制細分系數(shù))
RGH35 — RGI34接口(x4至x400)
參考零位 勵磁塊上的螺栓
限位開關 單限位(RGH40與40 μm柵距RESR具有雙限位)
速度高達 2938轉/分(直徑為?52 mm時為20 μm)
間隙公差
0.8 ±0.08 mm
柵尺類型 20 μm柵距(與RGH20和RGH35兼容)和40 μm柵距(與RGH34和RGH40兼容)RESR圓光柵
真空兼容 是 — RGH20F和20 μm柵距RESR
頂部系統(tǒng)精度 — 20 μm柵距RESR與RGH20
標稱外徑 (mm)
系統(tǒng)精度(角秒)
52 5.6
57 5.1
75 3.9
100 2.9
101 2.9
103 2.8
104 2.8
115 2.5
150 1.9
200 1.4
標稱外徑 (mm)
系統(tǒng)精度(角秒)
206 1.4
209 1.4
229 1.3
255 1.1
300 1.0
350 0.8
413 0.7
417 0.7
489 0.6
550 0.5
注:系統(tǒng)誤差等于刻度誤差加上電子細分誤差 (SDE)。偏心等作用會影響安裝性能;