一、設(shè)備用途：用于半導(dǎo)體樣品的形貌、結(jié)構(gòu)研究及樣品的元素分析。
二、運(yùn)行環(huán)境：
2.1 房間溫度：15 - 25℃
2.2 相對(duì)濕度：小于60%
2.3 適用電源：?jiǎn)蜗啵?00V±10%，50/60Hz，5kVA，要求連續(xù)供電
2.4 地線：接地電阻小于100Ω
三、技術(shù)規(guī)格：
3.1 組成：主機(jī)(包括真空系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng)、檢測(cè)器系統(tǒng))，自動(dòng)變壓器，冷卻循環(huán)水系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)，標(biāo)準(zhǔn)工具及附件。
▲3.2 電子槍：冷場(chǎng)發(fā)射電子槍（含有Mild Flash技術(shù) ，柔性）
*3.3 分辨率：SE分辨率：0.6nm@15kV (工作距離4mm) ，0.7nm@1kV （工作距離1.5mm）
*3.4電子束束流：≤20nA
3.5 放大倍率： 底片倍率：最小≤20倍，≥2,000,000倍，底片和顯示器倍率可同時(shí)顯示
▲3.6 加速電壓
加速電壓：0.5 ～ 30kV (10V/step)
著陸電壓：0.01 ～ 20kV (10V/step)
最小加速電壓:0.01kV
3.7 減速功能：樣品臺(tái)減速功能
3.8 自動(dòng)電子光路對(duì)中調(diào)整：
自動(dòng)電子束對(duì)中，自動(dòng)光闌對(duì)中，自動(dòng)像散對(duì)中，自動(dòng)對(duì)焦調(diào)整，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)整，自動(dòng)像散調(diào)整
3.9 物鏡光闌： ≥4孔，連續(xù)可調(diào)，具有自清潔可加熱式光闌
*3.10 信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)：
3.10.1 多功能信號(hào)探測(cè)器：有高位Inlens探測(cè)器、低位探測(cè)器及ExB信號(hào)選擇系統(tǒng)，
3.10.2信號(hào)類型：可以接收SE、HA-BSE（高角背散射）、LA-BSE（低角背散射），SE+BSE實(shí)時(shí)混合，可以按99%任意比例選擇接收SE和BSE信號(hào)，
3.10.3 BSE成像：2kV 以下也可以成BSE像，適合易損傷樣品和易荷電樣品，還原樣品真實(shí)細(xì)節(jié)
3.11 樣品室
*3.11.1 樣品臺(tái)驅(qū)動(dòng)： 五軸機(jī)械優(yōu)中心自動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)；移動(dòng)范圍： X=0-110mm，Y=0-110mm，Z=1.5-40mm，R=360°，T=-5°～70°
3.11.2 樣品尺寸：直徑≥150mm，高度36mm
*3.12 樣品換樣方式
3.12.1 含有樣品交換倉(cāng)：支持放置直徑≥150mm樣品的交換倉(cāng)
3.12.2規(guī)范化操作流程：預(yù)抽室端面透明，可觀察到樣品交換過(guò)程，具有樣品安裝警示燈提醒
3.13.支持真空轉(zhuǎn)移預(yù)接接口，可支持后續(xù)加載真空轉(zhuǎn)移系統(tǒng)
3.14 非接觸防碰撞保護(hù)功能
3.15樣品室多擴(kuò)展接口：≥14個(gè)
3.16 預(yù)留EBSD的信號(hào)傳輸接口
3.17光鏡導(dǎo)航功能：導(dǎo)航相機(jī)
3.18數(shù)字圖像記錄系統(tǒng)
3.18.1 圖像處理軟件：可以進(jìn)行圖像的處理、測(cè)量和編排實(shí)驗(yàn)報(bào)告
3.18.2 數(shù)據(jù)記錄：照片包括編號(hào)，加速電壓，標(biāo)尺，放大倍率，日期，時(shí)間，工作距離等
3.19 掃描速度：
Rapid掃描：Rapid1～Rapid2 2種
Fast掃描： Fast1～Fast2 2種
Slow掃描： Slow1～Slow7 7種
CSS 掃描： CSS1～CSS7 7種
Reduce 掃描：高，中，低，寬區(qū)快速，寬區(qū)慢速； 5種
*3.20 圖像顯示：雙顯示器雙大畫(huà)面顯示（1280×960像素），6通道圖像實(shí)時(shí)顯示
*3.21 圖像儲(chǔ)存：640×480， 1280×960，2560×1920，5120×3840，10240×7680（高分辨拍照模式）像素，照片包括編號(hào)，加速電壓，標(biāo)尺，放大倍率，日期，時(shí)間，工作距離等信息
3.22 圖像類型： TIFF, TIFF（16bit）, BMP或JPEG
3.23 信號(hào)/圖像處理功能：
像素積分改善S/N，框架積分，彩色圖像顯示，2色合成圖像顯示（保存圖像），偽彩色圖像顯示（保存圖像），針對(duì)保存圖片的圖像處理（灰階變換，伽馬調(diào)整，各種空間過(guò)濾處理）
3.24 實(shí)時(shí)圖像伽馬處理（Live Gamma）
3.25 支持后續(xù)擴(kuò)展全自動(dòng)操作智能軟件，預(yù)留接口
3.26.真空系統(tǒng)：
3.26.1 排氣控制：全自動(dòng)真空閥
3.26.2 真空泵：分子泵260L/s×1；干泵×1；離子泵45L/s×2，NEG×1臺(tái)
3.26.3 真空度：電子槍部分優(yōu)于2x10-7Pa；樣品室部分優(yōu)于2x10-3Pa
3.27 樣品更換抽真空時(shí)間：≤1.5分鐘
3.28 真空規(guī)：全量程真空規(guī)×1，皮拉尼規(guī)×2
3.29 保護(hù)：斷電、漏電、真空保護(hù)
3.30 配置離子濺射儀
4.能譜儀
4.1 探測(cè)器：硅漂移（SDD）電制冷探測(cè)器，采用場(chǎng)效應(yīng)管（FET）一體化集成設(shè)計(jì)的高速SDD芯片；探測(cè)器有效芯片面積≥60 mm2，超薄窗設(shè)計(jì)，獨(dú)立真空；在150,000CPS條件下Mn-Kα保證優(yōu)于129eV，輕元素分辨率：C-Kα/57eV, F-Kα/67eV
4.2 信號(hào)處理單元與探測(cè)器采用分立式設(shè)計(jì)，輸入計(jì)數(shù)率1,500,000CPS， 輸出600,000CPS
4.3 元素分析范圍: Be4～Cf98
4.4譜定性分析：可自動(dòng)標(biāo)識(shí)譜峰，可設(shè)定自動(dòng)標(biāo)定的元素范圍，可進(jìn)行譜重構(gòu)，對(duì)重疊峰進(jìn)行可視化譜峰剝離，并對(duì)重疊峰區(qū)域各種可能的元素進(jìn)行搜索與再確認(rèn)
4.5配備完善而精準(zhǔn)的原子數(shù)據(jù)庫(kù)，包含所有的分析線系(K, L, M 和 N線系)
