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特征尺寸測量用掃描電鏡CD-SEM S-8840

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2022-05-26
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)青島市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量441
  • 人氣值9154
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公司主營產(chǎn)品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質(zhì)譜儀和環(huán)境在線檢測。
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特征尺寸測量用掃描電子顯微鏡CD-SEMS-8840,適用于6英寸和8英寸晶圓的線寬測試
特征尺寸測量用掃描電鏡CD-SEM S-8840 產(chǎn)品詳情

特征尺寸測量用掃描電子顯微鏡CD-SEM S-8840,適用于6英寸和8英寸晶圓的線寬測試。


設(shè)備配置

晶片尺寸:6、8 英寸(直徑:150mm 200mm
晶片厚度:0.4mm~1mm 兼容
硅片單元尺寸:0.2~2inch
卡匣:25 /批次
電子槍 Electron Gun
真空腔室 Vacuum Chember
真空泵 Vacuum Pump
透鏡系統(tǒng) Lens System
X-Y 工作臺(X-Y Workplate)
承片臺 8 (Pick-up platform 8 inches )
硅片傳輸系統(tǒng) 8 ( wafer transmission system 8 inches)
硅片自動對準(zhǔn)系統(tǒng) wafer Auto alignment system
操作界面, 主控過程人機(jī)操作界面 ( Operating Interface, Man-machine Operating Interface of Main Control Process )
計(jì)算機(jī)系統(tǒng),整機(jī)主控計(jì)算機(jī)和系統(tǒng)控制應(yīng)用程序(Computer System, Main Control Computer and System Control Application Program )

監(jiān)視器, 圖形和控制界面顯示( Monitor, Graphics and Control Interface Display)

設(shè)備性能

圖像分辨率:5nm2
CD 量測范圍:0.1 ~ 10um
CD 重復(fù)性: 3σ≤5 nm or ≤±1 %
倍率: x 1000 ~ 150000 (SEM 圖像)x 110 (光學(xué)顯微鏡圖像)
焦深:≥1.0mm at 80000xmagnification

高縱橫比接觸孔圖像≥12

CD-SEM S-8840

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