SEC-Z514MGX質(zhì)量流量控制器

參考價(jià): 面議

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型號(hào)
品牌
所在地
更新時(shí)間2023-10-14

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
入駐年限第3年
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量2725
人氣值107345

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

深圳市天鉉真空技術(shù)有限公司，注冊(cè)資金人民幣貳佰萬元，公司坐落于改革開放前沿深圳市，現(xiàn)在大陸各地均設(shè)有分支機(jī)構(gòu)和辦事處，合作供應(yīng)商都是來自德國(guó)、英國(guó)、日本、美國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣及國(guó)內(nèi)等區(qū)域的廠家，截止至2008年底天鉉真空深圳總公司服務(wù)的客戶已突破800余家，天鉉真空憑借其強(qiáng)大的經(jīng)濟(jì)后盾及技術(shù)資源在國(guó)內(nèi)已打造成為以生產(chǎn)自主“天鉉”品牌、代銷、維修進(jìn)口真空泵及設(shè)計(jì)、安裝真空系統(tǒng)為一體的專業(yè)性企業(yè)。
▲天鉉真空主營(yíng)產(chǎn)品：MKS真空計(jì) 、UNIT流量計(jì) 、BROOKS流量計(jì) 、HORIB流量計(jì) 、AERA流量計(jì)MFC 英?？嫡婵沼?jì) 、進(jìn)口類真空電源維修、愛發(fā)科真空泵、愛德華真空泵、普發(fā)真空泵、貝克真空泵、安捷倫分子泵、里其樂真空泵、LEYBOLD萊寶真空泵、普旭真空泵、阿爾卡特真空泵、蘇威真空泵油、杜邦真空泵油、阿*真空泵、半導(dǎo)體激光器維修、AMAT電源板、EBARA荏原真空泵、OSAKA大阪分子泵、島津分子泵等。

▲產(chǎn)品廣泛適用于：電光源真空鍍膜，機(jī)械,冶金，石油，化工，造紙，食品，醫(yī)藥，電力，電子，陶瓷制冷設(shè)備，工藝吸塑，科研，干燥及汽車維修等領(lǐng)域。

▲維修及服務(wù)：天鉉真空提供專業(yè)的維修、保養(yǎng)、檢測(cè)、技術(shù)參數(shù)、調(diào)試、安裝及真空系統(tǒng)上門等高質(zhì)量的服務(wù)；并承諾凡在本公司所購(gòu)真空設(shè)備，均享有一年免費(fèi)保修期。

▲天鉉真空?qǐng)?jiān)持“*、信譽(yù)”為宗旨，堅(jiān)持以市場(chǎng)為導(dǎo)向，做到交貨及時(shí)、服務(wù)周到，盡力滿足用戶需要；竭誠(chéng)歡迎廣大客戶前來洽談和指導(dǎo)，開展有成效的合作。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

Z514

SEC-Z514MGX質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品詳情

Z514, Z524 DevicenetTM
Mass Flow Controller / Meter
Mass flow controller model *1 SEC-Z514KX SEC-Z514MGX SEC-Z524MGXN SEC-Z524MGX
Mass flow meter model *1 SEF-Z514KX SEF-Z514MGX SEF-Z524MGXN SEF-Z524MGX
Full-scale flow rate MR/MG number
(N2 conversion flow rate) #R01:10SCCM
#R1.5:17.5SCCM
#01:30SCCM
#1.5:55SCCM
#02:100SCCM
#2.5:175SCCM
#03:300SCCM
#3.5:550SCCM
#04:1SLM
#4.5:1.75SLM
#05:3SLM
#5.5:5.5SLM
#06:10SLM
Valve Type
Flow rate at fully closed control valve
Flow rate control range
Flow rate measuring range (SEF)
Operating temperature
Response
Linearity
Repeatability
50 to 300 kPa (d)
#5.5, #06: 100 to 300 kPa (d)
Operating differential pressure (SEF)
MAX. Operating pressure
Pressure resistance
Leak Integrity
Digital interface
Wetted materials
Power supply
1/4 inch VCR equivalent
Option: 1.125 inch IGS
Mounting orientation
*1 The gas type and full scale settings for the SEC(SEF)-Z514MGX and Z524MGXN can be changed by
the operator, using special software.
*2 The flow rate precision guaranteed temperatures conform to SEMI E56-1296 standards. The precision is that
associated with the full-scale MR and MG number values.
*3 IGS: Integrated Gas System
* SCCM and SLM are notations indicating the gas flow rate (mL/min, L/min, at 0°C and 101.3 kPa).
≤ 2% F.S.
2-99% of F.S.
0-99% of F.S.
≤ 1 second: Over full flow rate range
≤ ±0.5% F.S.
≤ ±0.2% F.S.
±0.25% F.S. (Flow rate ≤ 25% F.S.)
Conforming to ODVA standards, DC 24 V, 4.0 VA
450kPa(g)
Operating differential pressure 50 to 300 kPa (d) 200 to 300 kPa (d)
≤ 300 kPa (d)
1000kPa(g)
≤ 5 x 10-12Pa·m3/s (He)
DeviceNet? Protocol
316L Stainless Steel (polished surface)
Standard Fitting *3 1/4 inch VCR equivalent 1.5 inch IGS
Free
Option: 1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS
1/2SCCM
MR/MG number
O: Normally open C: Normally closed
#6.5:22SLM
#07:30SLM
#08:50SLM
Accuracy *2 ±1.0%F.S. ±1.0% S.P. (Flow rate > 25% F.S.)
5 to 50°C (recommended temperature range: 15 to 45°C)
Z514/524 Web Ver.001
Subject to change without notice.

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