概要
基于多年來技術(shù)產(chǎn)品的市場發(fā)展經(jīng)驗，我們提供了一系列滿足客戶需求的質(zhì)量流量計產(chǎn)品。
氣體被廣泛地運用于各種工業(yè)領(lǐng)域，從太陽能電池、燃料電池的研究和制造，這一獲得巨大關(guān)注的再生能源項目得到了各地的支持；到半導(dǎo)體、液晶面板和在電子行業(yè)中使用的發(fā)光二極管（LED）的研究和制造。在這些制造工藝中，對各種氣體的流量進行準確的測量和控制顯著地提高了工作效率，進而節(jié)約了能源和提高了生產(chǎn)力。HORIBA STEC致力于質(zhì)量流量計的發(fā)展，為的制造工藝，包括半導(dǎo)體、光電和LED的制造提供服務(wù)，并將繼續(xù)開發(fā)新的產(chǎn)品來滿足客戶的需求。
型號
| 10sccm | 10SLM | 20SLM | 100SLM | 200SLM |
| SEC-N102 | SEC-N112 | SEC-N122 | SEC-N132 | SEC-N142 |
| SEC-N104 | SEC-N114 | SEC-N124 | SEC-N134 | SEC-N144 |
| SEC-N106 | SEC-N116 | SEC-N126 | SEC-N136 | SEC-N146 |
特征
HORIBA STEC可以提供滿足您需求的全套產(chǎn)品。
| 型號 | 選擇信號傳輸模式 | 選擇電源 |
| SEC-N102 系列 | 數(shù)字式信號傳輸 ?RS485 F-NET協(xié)議 模擬式信號傳輸 ?0～5VDC | ±15VDC (±5%) HORIBA STEC’S 可以提供PE系列的電源產(chǎn)品。 |
| SEC-N104 系列 | DeviceNet 信號傳輸 | 遵照ODVA標準 |
| SEC-N106 系列 | PROFIBUS 信號傳輸 模擬式信號傳輸 ?0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA | 遵照PROFIBUS標準 |
此型號適合各種小流量到大流量的需要。
流量控制范圍為標定滿量程的2～99%
高精度
■高精度（設(shè)定點為基準）MFC的線性度將由近似多項式曲線進行補償。這幫助實現(xiàn)了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實際氣體流量的準確性進一步提高，各種工藝氣體的校準數(shù)據(jù)將按照HORIBA STEC標準的氣體測量系統(tǒng)進行校驗。
整個流量控制范圍內(nèi)都可實現(xiàn)高響應(yīng)速度
■Newly variable PID algorithm: 1 second high-speed response的可變PID運算法則：1秒高速響應(yīng) SEC-N100 系列搭載了開發(fā)的“可變PID系統(tǒng)”，對于所有設(shè)置點它可以實現(xiàn)1秒內(nèi)的高響應(yīng)速度。當您改變標定滿量程和氣體種類時，可變PID將根據(jù)當下的設(shè)定點不斷變化，其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。
多氣體、多量程的解決方案
■專用的軟件賦予用戶可以自由更改規(guī)格的能力 的多氣體、多量程系統(tǒng)使用戶自由變更氣體種類和量程成為可能。
致力于成本考量，運用新的設(shè)計概念
作為N100系列的替代，HORIBA STEC也可以提供具備超潔凈處理以及壓電陶瓷閥門的Z500系列產(chǎn)品。請注意，在沒有通知的情況下，可能會對某些需要提高生產(chǎn)率的部件和產(chǎn)品工藝做出修改，但不會牽涉到改變產(chǎn)品的規(guī)格。
